판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55A #293817881

ASML PAS 5000/55A는 반도체 웨이퍼의 집적 회로 제작에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. '오버 캔 (overcan) '/' 언더 스캔 (underscan)' 기술과 다양한 고급 기능을 사용하여 최적의 이미지 품질을 생성하는 고급 리소그래피 머신입니다. ASML PAS 5000/55 A는 고정 이중 축 단계 기반 장비와 관련된 단계 및 반복 리소그래피 방법을 사용합니다. 대형 보드 정렬 정확도를 위해 총 최고 속도 500mm/s (500mm/s) 의 고속 포지셔닝 메커니즘이 특징입니다. 또한 0.1 미크론 해상도와 0.5 미크론의 정확성을 갖춘 고해상도 광학 포지셔닝 시스템을 갖추고 있습니다. PAS 5000/55A는 마스킹 및 노출에 이상적인 오버 헤드 플라즈마 (overhead plasma) 또는 쿼드 에너지 소스를 특징으로합니다. 노출 과정에 대한 최적의 온도를 보장하기 위해 저열 예산 (low thermal budget) 이 특징입니다. 또한 오버헤드 광 장치 (Overhead Optical Unit) 에는 광역 조정 가능 매개변수가 포함되어 있어 입력 (Input) 및 출력 (Output) 전원 수준을 모두 설정하여 임베디드 레이어의 해상도와 균일성을 최적화합니다. 광학 측면에서 PAS 5000/55 A에는 망원경 광학 기계와 고해상도 광학 및 렌즈가 장착되어 있으며, 최대 0.7 미크론을 이미징 할 수 있습니다. 또한 프린지 패턴 측정을위한 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 도구, 자산의 고유 선형성 향상 및 정확한 정렬 타겟팅을 가능하게합니다. ASML PAS 5000/55A는 강력한 Xenon 조명 소스와 최적화 된 광학 어레이로 구성됩니다. 또한 다양한 마스크 라이터 및 자동 노출 최적화 시스템을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 시스템 제어 및 관리를 위한 직관적인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5000/55 A는 최첨단 리소그래피 기술과 고급 모델 아키텍처를 제공하는 효율적이고 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급형 반도체 (반도체) 공정의 요구사항을 충족시킬 수 있고, 첨단 집적회로 생산에 필수적이다.