판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55A #293647910

ASML PAS 5000/55A는 반도체 리소그래피를 위해 설계된 침수 광학 웨이퍼 스테퍼입니다. 167mm 노출 분야에서 225nm 이하의 해상도를 가진 반도체 장치를 생산할 수 있습니다. ASML PAS 5000/55 A는 ASML IntelliWafer 기술로 구동되며, 사용자는 주기 시간을 줄이고, 웨이퍼 파손을 줄이고, 품질과 생산성을 향상시킬 수 있습니다. PAS 5000/55A의 총 이미징 면적은 직경이 약 16.3 인치 (414mm) 이며 해상도 225 나노 미터에서 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 컴퓨터 제어 자외선 (Advanced Computer Controled, Ultraviolet Illumination Source) 을 사용하여 다양한 생산 요구사항을 수용할 수 있도록 광범위한 노출 설정을 제공합니다. 이 시스템은 또한 여러 가지 고급 기능 (advanced features) 을 제공하여 효율성이 높은 노출을 효율적으로 만들 수 있습니다. Intellitrace는 각 노출의 초점 위치를 자동으로 조정하는 PAS 5000/55 A의 기능입니다. 프로플렉스 (ProFlex) 기능을 사용하면 웨이퍼 서피스에서 패턴 방향을 프로그래밍할 수 있으므로 더 큰 규모의 패턴을 더 작은 패턴으로 쉽게 변환할 수 있습니다. 이 기능으로 웨이퍼의 정렬도 향상되었습니다. 또한 ASML PAS 5000/55A는 개발자에게 학습하고 운영하기 쉬운 사용자 친화적 인 프로그래밍 환경을 제공합니다. 이 "시스템 '은 여러 가지" 컴퓨터' 언어 로 작동 하기 때문 에, 그러한 장치 를 무늬 로 만들기 위한 자체 의 조리법 을 "프로그램 '할 수 있다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 전문 프로그래머가 필요없이 빠르고 쉽게 수정할 수 있습니다. 향상된 기능과 성능으로 인해 ASML PAS 5000/55 A는 시장에서 가장 강력하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 고해상도, 정확한 정렬, 반복 기능을 통해 다양한 생산 요구 사항에 적합합니다. 프로그래밍 가능한 환경은 또한 데이터 세트를 더 큰 차원에서 작은 차원으로 쉽게 변환 할 수 있습니다. 대규모 및 소규모 프로젝트 모두에 적합합니다.