판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55 #9068441

ASML PAS 5000/55 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 석판화 장비입니다. 정밀 이미징 장치이며, 서브 픽셀 정확도로 반도체 웨이퍼에 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 독점적 인 싱크로스코프 정렬 시스템 (Synchroscope alignment system) 을 특징으로하며, CCD 카메라에 의해 촬영 된 여러 이미지의 정렬과 스캐닝 전자 현미경을 결합하여 여러 이미지를 정확하게 오버레이 할 수 있습니다. PAS 5000/55는 높은 NA (숫자 조리개) 투영 장치를 사용하여 기계가 작은 크기의 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 노출 프로세스를 관리하고 최적화할 수 있는 자동화된 자산이 있어 설계 (Design) 에서 생산 (Production) 에 이르는 정확한 이미징이 보장됩니다. 이 모델은 또한 노출을 겹칠 수 있으며, 이는 생산 시간을 단축하고, 반도체 소자를 보다 효율적으로 생산할 수 있습니다. ASML PAS 5000/55에는 웨이퍼 정렬 및 이미지 선택을 포함한 다양한 고급 리소그래피 기능도 포함되어 있습니다. 이 기계는 어두운 필드 조명 (dark field lumination) 이나 밝은 필드 조명 (bright field illumination) 을 사용하도록 구성 될 수 있으며, 다양한 렌즈와 조리개 마스크가 장착되어 있습니다. 이 장비 는 "웨이퍼 '의 정렬 을 하기 위해" 프로그램' 될 수 있으며 "레이저 '자동 초점 장치 는 정확 하고 정확 한 영상 을 보장 하기 위하여 포함 된다. 이 장치는 2 인치에서 300 mm 사이의 여러 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 단일 및 양면 처리에 모두 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 검사 (inspection) 및 도량형 기능 (metrology function) 을 포함하는 내장 모니터링 머신과 기판과 마스크 간의 정렬을 보장하는 자동 마커 렉트 도구를 갖추고 있습니다. 인라인 (in-line) 검사 자산도 패키지에 포함되어 있어 빠른 웨이퍼 (wafer) 수정 및 패턴 인식 기능을 제공합니다. PAS 5000/55 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조를위한 견고하고 안정적이며 고급 석판화 모델입니다. 다양한 장치 크기에 대해 정확하고 반복 가능한 리소그래피 (lithography) 결과를 제공하며, 높은 생산성과 향상된 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 프로토 타입 (Prototyping) 에서 대용량 제조 (High Volume Manufacturing) 에 이르기까지 소규모 및 대규모 생산 운영에 적합합니다.