판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55 #293746349
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ASML PAS 5000/55 Wafer Stepper는 반도체 집적 회로 생산을위한 최첨단 기계입니다. PAS 5000/55는 탁월한 기능 크기의 고급 VLSI 장치 생산을 지원하도록 특별히 설계된 풀 필드 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 장비입니다. 이 기계는 인상적인 고급 기술과 기능으로 제작되었습니다. 이 제품은 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 광학 가중치 시스템을 사용하여 정밀한 오버레이 제어 및 이미징 정확도를 제공합니다. ASML PAS 5000/55에는 고급 255 나노 미터 크립톤 플루오 라이저 및 고급 조명 및 이미징 시스템도 있습니다. 내장 APC (Advanced Process Control) 장치는 반복 가능하고 균일 한 이미징 프로세스를 보장합니다. PAS 5000/55는 신뢰성이 높으며 최신 설계 기능을 제공합니다. 종합적인 진동 및 먼지 격리 머신 (dust-isolation machine) 은 일부 및 크리티컬 어플리케이션에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 기계는 또한 자동 측정 분석 (automated measurement analysis) 및 실시간 프로세스 제어 (real-time process control) 옵션을 포함하여 고급 도량형 및 검사 도구를 제공합니다. 이 기계는 최대 900mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 대용량 자동 웨이퍼 로드/언로드 (automated wafer load/unload) 자산으로 공급됩니다. 사용자 친화적 인 대형 콘솔과 직관적인 컬러 그래픽 사용자 인터페이스 (Color-Graphic User Interface) 를 통해 설정과 기능에 빠르게 액세스할 수 있습니다. 인체 공학적 설계로 편안하고 예측 가능한 작동이 가능합니다. ASML PAS 5000/55에는 광범위한 모델 모니터링, 로그 파일 유지 관리 장비와 같은 고급 진단 도구와 기능이 있습니다. 이러한 진단 도구를 사용하면 시스템 오작동 시 신속한 진단 및 문제 해결이 가능합니다. 이 시스템은 또한 다양한 고객 서비스 옵션 (어플리케이션 교육, 현장 서비스 등) 으로 설계되었습니다. 결론적으로, PAS 5000/55는 반도체 장치 제작 분야의 고정밀 응용을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 성능 배열 (Array of Feature) 은 빠르고 효율적인 운영 주기를 위한 정확하고 안정적인 이미지 처리 기능을 제공합니다.
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