판매용 중고 ASML PAS 5000 / 55 #293586475

ASML PAS 5000/55는 반도체 웨이퍼 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 반도체 장비 영역의 선두 주자인 ASML이 개발한 PAS 5000/55는 탁월한 속도와 정확도를 제공합니다. ASML PAS 5000/55 시스템에 포함 된 스테퍼는 8 인치 웨이퍼를 통해 리소그래피를 허용하는 자동 광학 엔진으로 구성됩니다. 동력 동작 제어 시스템 (Motorized Motion Control System) 은 최대 정확도를 가능하게하여 웨이퍼가 고속 (Cyclindrical) 모양과 표면 품질을 동일하게 유지할 수 있습니다. 또한, 서브 미크론 포지셔닝은 기존 스텝보다 더 훌륭한 해상도를 제공합니다. PAS 5000/55는 특히 DRAM, SRAM, Flash 및 ASIC와 같은 IC를 패키지하도록 설계되었습니다. 일관되고 신뢰할 수있는 생산을 보장하기 위해, 이 장치에는 X/Y 작업 매개변수를 허용하는 2 개의 선형 (linear) 축이 장착되어 있으며, 광범위한 노출 방법이 있습니다. 또한 ASML PAS 5000/55 는 스캐닝의 초점을 조정하여 최적의 정확도와 성능을 제공하는 동적 초점 (dynamic focus) 기능을 제공합니다. 이 기능은 프로덕션 프로세스에서 공통적으로 발생하는 결함 수를 줄여주며, 운영 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다 (영문). 이 기계는 고급 디지털 제어 보드 (Advanced Digital Control Board) 로 구동되며, 이미지 개발에 대한 노출에서 모든 생산 단계를 정밀 제어할 수 있습니다. 제어 보드는 또한 최대 12MUX 의 빠른 처리 속도와 클럭 주기당 2.13 "미크론 '의 스캔 속도를 허용합니다. 마지막으로, PAS 5000/55 에는 첨단 소프트웨어가 장착되어 있어 엔지니어와 운영자가 각 운영 단계를 매우 정확하고 쉽게 제어, 모니터링할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 도구의 신속한 문제 해결 및 유지 관리 (maintenance of the tool) 를 통해 설치 및 유지 관리를 바람직하게 만듭니다.