판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #9223541

ASML PAS 5000/50은 네덜란드 기반 ASML Holding N.V에서 개발 한 고급 웨이퍼 스테퍼 머신 (Stepper machine) 입니다. 이 머신은 고급 2 빔 광학 장비, 새로운 진동 흡수기 및 업데이트 된 렌즈 시스템을 사용하여 처리 중인 웨이퍼의 원하는 위치에 정확하고 정확하게 초점을 맞춥니 다. ASML PAS 5000/50은 반도체, MEMS 및 NAND 플래시 장치의 웨이퍼 처리에 사용하도록 설계되었습니다. 40/50 kV 전자원이 장착되어 있으며 낮은 에너지에서 신뢰할 수있는 이미징을 위해 설계되었습니다. 고급 옵틱 (optic), 모션 컨트롤 (motion control), 피드백 시스템 (feedback system) 을 결합하여 높은 처리량과 뛰어난 정확도를 제공합니다. PAS 5000/50의 2 빔 광학 장치 (two-beam optical unit) 는 다양한 노출 각도와 초점 높이를 제공하여 기계가 대형 다이 (die) 를 이미징 할 수 있도록 합니다. 이 향상된 광학 공구와 새로운 진동 흡수 장치 (Vibration Absorber) 의 조합으로, 기계는 매우 정밀하게 다양한 기능을 정확하게 상상할 수 있습니다. 새로운 렌즈 에셋과 제어 시스템을 조합하여 PAS 5000/50 은 자동 포지셔닝 (auto-positioning), 자동 유지 관리 (auto-maintenance) 등 여러 가지 추가 기능을 통합할 수 있습니다. 자동 위치 지정 (Auto-positioning) 을 사용하면 초점 높이와 노출 각도를 변경하여 웨이퍼 스테이지를 자동으로 동작 제어할 수 있으므로 웨이퍼의 원하는 사이트를 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 자동 유지 관리는 유연하고 안정적인 인라인 이미징을 제공합니다. ASML PAS 5000/50은 이미지 해상도를 0.25 äm까지 낮출 수 있으며 최대 단계 가속도 4.5 m/s ² 는 높은 처리량을 보장합니다. 자동 웨이퍼 클리닝 도구, 자동 웨이퍼 치핑 도구, BOZR 수퍼 해상도 (super-resolution) 옵션 등 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 옵션도 추가하면 대비를 개선하고 소음을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5000/50은 반도체 장치 제조를 위해 고급적이고 안정적인 웨이퍼 이미징 솔루션을 제공합니다. 첨단 고성능 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 모델을 찾는 연구원과 제조업체 모두에게 탁월한 선택입니다.