판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #9046375

ASML PAS 5000/50은 대용량 생산 요구를 충족하도록 설계된 아트 웨이퍼 스테퍼 (Art Wafer Stepper) 상태입니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 미세 회로 (micro circuit) 를 패턴화할 수 있으며, 현대 디지털 기술 제조에 이상적입니다. ASML PAS 5000/50은 고해상도 렌즈, 고급 이미징 시스템, 정교한 소프트웨어 알고리즘을 활용하여 웨이퍼를 정확하게 패턴화하는 최적화된 리소그래피 솔루션입니다. 이 장비는 다양한 해상도에서 단일 (single) 노출 및 다중 (multiple) 노출 작업을 모두 지원할 수 있을 정도로 유연합니다. 즉, 처리량이 높고 시스템 다운타임이 최소화되어 이를 보완합니다. 광 설계 측면에서 PAS 5000/50은 NA = 0.22 수치 조리개와 미러 기반 투영 정렬 시스템 (고해상도 이미징) 을 갖춘 고급 듀얼 필드 렌즈를 사용합니다. 이 장치는 또한 완전히 통합 된 초점 및 노출 제어 머신 (focus and exposure control machine) 과 고급 공중 영상 도구 및 카메라 교정 스위트 (camera calibration suite) 를 갖추고 있습니다. PAS 5000/50 (PAS 5000/50) 은 또한 모션 암 (motion arm) 과 웨이퍼 척 (wafer chuck) 을 특징으로하며, 원하는 방향에 웨이퍼를 배치하고 집적 회로의 여러 영역을 정확하게 타겟팅 및 노출 할 수 있습니다. 자동 클램프 (clamping) 에셋은 회전 속도 변화를 카운터하여 웨이퍼의 신뢰할 수있는 패턴을 활성화합니다. ASML PAS 5000/50은 일련의 자동 프로세스 모니터링 및 관리 시스템으로도 설계되었습니다. 여기에는 고급 웨이퍼 결함 검사 모델 (Advanced Wafer Defect Inspection Model) 과 잠재적인 문제를 신속하게 감지하고 진단할 수 있는 포괄적인 프로세스 분석 패키지 (Process Analysis Package) 가 포함됩니다. 마지막으로, ASML PAS 5000/50은 자동 생산 레시피를 실행할 수 있으며, 이는 제조 공정에서 최고의 품질 표준을 달성하도록 프로그래밍됩니다. 이를 통해 결함 발생률이 가장 낮아지고, 생산이 빨라집니다. 요약하자면, PAS 5000/50 은 최신 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 맞춤형 광 설계, 통합 노출 및 초점 제어, 자동 레시피, 프로세스 모니터링, 관리 시스템 등을 통해 대용량 웨이퍼 (wafer) 제조에 적합합니다.