판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #293818758

ASML PAS 5000/50 (ASML PAS 5000/50) 은 제조 과정에서 웨이퍼의 상태, 이동 및 작동을 제어하도록 설계된 자동화된 전동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 수동 웨이퍼 스테퍼보다 높은 수준의 자동화 및 정확성을 제공합니다. ASML PAS 5000/50 (ASML PAS 5000/50) 에는 다양한 구성 요소가 있으며, 각 구성 요소는 시스템의 전반적인 성능에 기여하는 독특한 특성을 가지고 있습니다. 이 장치는 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 와 교정 암 (calibration arm) 으로 구성되며 스테퍼에 미세 조정 수준의 정확도를 제공합니다. 웨이퍼 스테이지 자체는 이동 가능한 선형 액추에이터 (linear actuator) 에 의해 지원되며 수행할 작업에 따라 1, 2 또는 3 개의 축으로 이동할 수 있습니다. 정밀 이동을 위해 유체 (fluid) 의 흐름을 조절하고 위치 지정 명령의 정확성을 높이는 고동적 (high-dynamic) 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 교정 암 (calibration arm) 에는 고해상도 센서가 장착되어 있으며, 다양한 작업 중에 웨이퍼의 정확한 위치를 측정하는 데 사용됩니다. PAS 5000/50에는 시스템에 스마트 소프트웨어 솔루션이 통합되어 있습니다. 이를 통해 기술자는 이동 속도, 동작 범위, 프로그래밍된 수정 (programmed correction) 등의 변수를 프로그래밍하고 신속하게 조정할 수 있습니다. 또한 높은 카메라 해상도, 고성능 컴퓨터, 정확한 위치 감지를 위한 레이저 정렬 도구 (Laser Alignment Tool) 가 장착 된 웨이퍼 스캔 플랫폼도 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 결합하여 웨이퍼 작업의 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 자산 구성 요소 외에도, PAS 5000/50 은 운영 업체의 안전을 보장하기 위해 설계된 다양한 안전 (safety) 기능을 제공합니다. 이 모델에는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 있으며, 필요할 때 이동을 빠르게 중지하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 안전 회로 (Safety Circuit) 는 고급 안전 컨트롤러 (Safety Controller) 에 의해 모니터링되며, 스테퍼는 예기치 않은 사건 중에도 안전 상태를 유지할 수 있습니다. ASML PAS 5000/50은 고정밀 자동 웨이퍼 작동을 위한 탁월한 선택입니다. 최첨단 소프트웨어 솔루션, 안전 (safety) 기능, 미세하게 튜닝된 이동을 결합하면 이 스테퍼가 정확한 웨이퍼 작업을 일관되게 수행할 수 있습니다.