판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #293818651

ASML PAS 5000 / 50
ID: 293818651
Stepper.
ASML PAS 5000/50은 IC (Integrated Circuit) 컴포넌트의 식별, 테스트 및 분석을 위해 설계된 완전 자동화 된 근접 프로브 장비입니다. 이 최첨단 프로덕션 시스템은 고해상도 이미지를 정확하게 정렬하기 위한 혁신적인 광학 스캐닝 기술을 갖추고 있습니다. 고급 프로세스 제어 및 자동 테스트 루틴을 통해 최적의 성능과 정확한 측정이 가능합니다. 자동 스테퍼 플랫폼에는 테스트 할 IC 부품 웨이퍼를 보관하는 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 포함되어 있습니다. 그런 다음, 웨이퍼 (wafer) 는 활성 브래킷에 의해 고정되며, 정확한 스캔 절차를 통해 이동하여 고해상도 이미지를 얻습니다. 이 X-Y 운동은 동력 스테퍼 드라이브를 통해 수행되며, 이는 매우 빠른 속도로 나노 미터 이하의 정확도를 달성합니다. 광 장치 (optical unit) 는 회로 요소의 이미지를 캡처하는 데 사용되며, 샘플 스테이지는 회로에 대해 자동 이동을 수행합니다. ASML PAS 5000/50 은 또한 프로세스 성능을 최적화하기 위해 피드 포워드 (feed-forward) 제어를 제공하는 통합 자동 테스트 환경을 제공합니다. 이 환경은 매개변수 조정, 바이어싱, 온도 조절, 전류 측정 등 다양한 가능성을 제공합니다. 이러한 프로세스는 모두 '안정성' 과 '성능' 측면에서 제품의 설계 목표를 충족하는 데 매우 중요합니다. PAS 5000/50은 검사 자동화 및 제품 추적성과 같은 고급 소프트웨어 기능도 제공합니다. 이는 최종 제품에 필요한 품질 (예: 입자 감지, 형태 인식, 기판 지형) 이 있는지 확인합니다. 또한 자세한 그래픽 분석 보고서와 검사 결과를 제공합니다. 마지막으로 PAS 5000/50은 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 시간당 최대 1000 개의 IC를 스캔, 측정할 수 있으며, 전체 처리 속도가 빨라지기 위해 주기가 짧습니다. 또한, 이 기계는 공구의 최적의 작동을 위해 다양한 전원 관리 (power management) 옵션을 제공합니다. 전반적으로 ASML PAS 5000/50 웨이퍼 스테퍼는 안정적이고 정확한 결과를 제공하기 위해 최신 기술로 설계된 고급 자산입니다. 자동화된 프로세스는 수작업 (manual operation) 을 필요로 하지 않으며 IC 구성요소의 효율적인 식별 및 테스트를 용이하게 합니다.
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