판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #293749240

ASML PAS 5000/50 장비는 반도체 생산을위한 고급 리소그래피 솔루션입니다. 이 시스템은 타의 추종을 불허하는 성능과 생산성을 제공하며, 이는 모든 반도체 제조업체에 중요한 장비입니다. ASML PAS 5000/50은 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 사용하여 웨이퍼를 이동하고 포토 마스크와 정확하게 정렬하여 패턴을 웨이퍼로 전송합니다. 웨이퍼 스테퍼는 레이저 포지셔닝, 이중 축 설계, 선형 모터 및 인코더, 동작 제어 CPU를 사용합니다. 마스크 정렬기는 작업 거리가 넓으며 최대 6 인치 (15 센티미터) 의 크기 마스크를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 4nm (4nm) 의 고해상도를 제공하여 이미징 가능한 45nm 정도의 기능을 제공합니다. 마스크 정렬기의 최대 웨이퍼 크기는 150mm x 150mm이며, 쿼츠, 실리콘, 사파이어 등 다양한 재료로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. PAS 5000/50 은 물리적 (physical) 및 비스코광학 (visco-optical) 감지 조합을 사용하여 웨이퍼에 대한 마스크의 정확한 배치를 보장하는 자동 정렬 프로세스를 제공합니다. 또한, 정렬 (alignment) 및 스캔 (scan) 링은 각 스캔 전에 마스크 및 웨이퍼가 항상 정렬되도록 합니다. 이를 통해 기계는 고수율 생산에 필요한 정확성과 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 생산성 측면에서 PAS 5000/50 은 시간당 최대 4,000 개의 웨이퍼를 실행할 수 있으며, 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 도구는 와퍼에 대한 기계적 (mechanical) 및 열적 손상 (thermal damage) 에 대한 보호 기능이 내장되어 있으며 광범위한 노출 시간 및 치료 주기를 제공합니다. ASML PAS 5000/50 의 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 자산을 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 이 모델의 소프트웨어는 웨이퍼 처리량, 정렬 정확도, 처리량 시간 등 실시간 통계를 허용합니다. 또한, 이 소프트웨어는 여러 시스템에서 저장된 데이터를 공유할 수 있게 해 주며, 효율적인 레시피 스위칭 기능을 제공합니다. 결론적으로, ASML PAS 5000/50은 높은 성능과 생산성으로 인해 반도체 생산에 적합한 솔루션입니다. 다양한 기능을 통해 장비가 복잡한 작업을 처리할 수 있으며, 사용자 친화적 (user-friendly) 인터페이스를 통해 빠르고 쉽게 작업을 수행할 수 있습니다.