판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #293621670

ASML PAS 5000/50은 네덜란드에 본사를 둔 ASML Holdings NV에서 제조 한 고정밀 웨이퍼 스텝 트레이입니다. 스테퍼는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 유기 기판, 광학 유리 시트 등 크고 작은 기판 처리를 위해 설계된 풀 필드 스캐닝 장비입니다. 최소 기능 크기가 0.15 ° m (1.5nm) 인 정밀 마이크로 스케일 기능을 만들 수 있습니다. ASML PAS 5000/50은 물질에 레이저와 광학을 집중시키는 강력한 기계 설계를 기반으로합니다. 이 정교한 시스템을 통해 기계는 프로그래밍 된 이미지로 가공소재를 스캔하고 노출시킬 수 있습니다. 스테퍼는 실리콘 웨이퍼에서 최대 15.75 인치 직경의 기질까지 투명 기판을 처리 할 수 있습니다. 스테퍼는 세 개의 주요 섹션 (스캔 테이블, 조명 장치, 광학 기계) 으로 구성됩니다. 스캐닝 테이블은 2 차원 전자석 배열과 웨이퍼 포지셔닝을위한 2 개의 X-Y 테이블로 구성됩니다. 전자기 코일은 2 개의 X-Y 테이블을 구동하는 데 사용되며 최대 변위는 80mm (3.14 인치) 입니다. 조명 도구는 80 W UV 레이저, 12 W UV 레이저 옵션, 변형 가능한 미러 교정기 및 고정밀 렌즈를 포함한 광학 배열로 구성됩니다. 고속 레이저는 최대 420 Hz의 반복 속도로 스캔할 수 있으며, 라인 노출 시간은 0.15 초 (10 ms) 입니다. 스텝퍼 (stepper) 는 패턴화 된 영역의 수차를 감지하고 수정하고 초점 변화 (focus variations) 의 효과를 최소화할 수도 있습니다. PAS 5000/50 의 광 자산은 이중 통신 교정기 (double-telecentric corrector) 와 함께 짧고 긴 초점 길이 렌즈 배열을 갖추고 있습니다. 렌즈 (lenses) 는 동급 최고의 이미지 스팟 크기를 0.6m ~ 6m로 달성하면서 시야를 가로 질러 수차를 줄이기 위해 설계되었습니다. 스테퍼에는 이미징 및 정렬을위한 다양한 카메라가 장착되어 있습니다. PAS 5000/50은 다양한 고급 현미경 응용 프로그램을위한 다용도 도구입니다. IC, 디스플레이, 광학 제품 제조를 위해 고정밀도 패턴 (patterned) 기판을 생산해야 하는 사용자에게 적합한 선택입니다. 이 스테퍼는 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 연구 개발 (Research and Development) 에서 대량 생산 (high-volume production) 에 이르는 광범위한 작업을 위한 효과적인 솔루션을 제공합니다.