판매용 중고 ASML PAS 5000 / 50 #293586476

ASML PAS 5000/50은 반도체 제조에 사용되는 최고의 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 현재 사용 가능한 최첨단 시스템 중 하나로, 다양한 최첨단 기능 (예: 프로그래밍 가능 옵틱, 고급 자동 초점 기능) 을 갖추고 있습니다. 스테퍼 시스템은 2 개의 매우 정확한 단계와 단일 고출력 렌즈로 구성됩니다. 이 단계의 고도 정확도는 0.8 미크론 (미크론) 에 불과하여 최고 수준의 정밀도가 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 단계 중 하나가 최대 22 도까지 스윙 할 수 있으므로 더 많은 조작과 더 정확한 위치 지정 (positioning) 을 허용합니다. 매우 정확한 단계 및 렌즈 외에도 ASML PAS 5000/50은 다양한 고급 기능을 제공합니다. 우선, 프로그래밍 가능한 광학 장치 (optics unit) 를 장착하여 사용자가 레이저 노출 및 초점을 위해 사용자 정의 프로파일을 설정할 수 있습니다. 따라서 각 웨이퍼 (wafer) 에 대한 다양한 노출 수준과 설정을 사용할 수 있으므로 소형 웨이퍼와 복잡한 패턴화 (patterning) 에 이상적입니다. 또한 고급 자동 초점 기술 (Autofocus Technology) 을 갖추고 있어 렌즈를 잘못 정렬하여 발생하는 결함을 쉽게 사용하고 줄일 수 있습니다. 이 툴에는 다양한 맞춤형 옵션 (운영 요구 사항에 맞게 맞춤) 이 제공됩니다. 예를 들어, H- 미러를 사용하여 에셋을 구성할 수 있으므로 분할 필드 이미징 (split-field imaging) 및 초점 제어 (focus control) 기능이 향상됩니다. 또한, 자동 스티칭이 제공되어 여러 대의 웨이퍼를 한 번에 쉽게 처리할 수 있습니다. 전체적으로, PAS 5000/50은 최고 수준의 정밀도 및 자동 제어를 제공하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼 모델입니다. 고급 옵틱 (Optics) 장비와 고정밀 (High-Precision) 단계를 갖춘 이 시스템은 포커스 공차 (Focus Tolerance) 와 정확한 패턴 요구 사항을 갖춘 모든 마이크로패브라이션 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.