판매용 중고 ASML PAS 5000 / 40 #293820589

ASML PAS 5000 / 40
ID: 293820589
i-Line stepper.
ASML PAS 5000/40은 한 번에 최대 40 개의 웨이퍼를 처리하면서 고정밀 정렬 및 오버레이 정확도를 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. PAS4000/40에는 자동 U-Shaped 초점 제어 장비와 함께 웨이퍼 뒷면에 2 개의 LED (LED) 가 포함되어 있어 패널을 가로지르는 조명과 수동 조정이 필요 없도록 자동 기울기 제어가 보장됩니다. PAS 5000/40 의 통합형 비전 시스템은 웨이퍼 ID (Wafer ID) 를 정확하게 인식하고 항상 전체 웨이퍼 뷰를 제공합니다. 정렬뿐만 아니라, 웨이퍼 표면의 고정밀도 결함을 조정하는 혁신적인 "다크 필드 이미징 (dark field imaging)" 기능이 포함되어 있습니다. 또한 ASML PAS 5000/40 은 뛰어난 정확도로 결함을 식별할 수 있는 고급 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이를 통해 PAS 5000/40 은 정확도가 향상되고 처리량이 빨라져 더 짧은 시간 안에 더 높은 수율을 얻을 수 있습니다. 또한 제조 공정의 정보를 수집하고 프로세스 매개변수에 대한 피드백 (feedback) 을 제공하여 매번 최적의 웨이퍼 품질을 보장하는 스마트 센서 (Smart Sensor) 장치를 포함합니다. ASML PAS 5000/40 (ASML PAS 5000/40) 은 고성능 프로세서로 구동되며, 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하므로 시스템 설정을 쉽게 탐색하고 포괄적으로 제어할 수 있습니다. 이 고성능 인터페이스 (High-Performance Interface) 를 사용하면 기계로부터 가장 정확하고 안정적인 성능을 얻기 위해 빠르고 간편한 매개변수 변경, 설정이 가능합니다. PAS 5000/40에는 웨이퍼에서 웨이퍼까지 정확하고 반복 가능한 측정이 가능한 독특한 "공구 액세스 마이크로 진동 제어 기계" 도 포함되어 있습니다. ASML PAS 5000/40은 고정밀 기능 및 반복 기능 외에도 고속 웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping) 기능을 제공하여 처리량을 향상시키고 주기 시간을 단축합니다. 세련되고 조용한 디자인과 함께 고급 웨이퍼 처리 도구 (Advanced Wafer Handling Tool) 는 향상된 액세스 및 작동 편의성을 제공합니다. 신뢰성이 높으며, 낮은 비용으로 높은 생산 수준을 달성 할 수 있습니다. 또한 최첨단 적응 제어 에셋 (Adaptive Control Asset) 을 통해 컴퓨터가 처리량을 극대화하기 위해 프로세스를 조정할 수 있습니다. 전반적으로, PAS 5000/40은 업계 최고의 웨이퍼 스테퍼 모델이며, 많은 주요 반도체 제조업체가 선택할 수 있습니다. 정밀도, 반복성, 유연성, 신뢰할 수 있는 성능을 제공하여 제조 프로세스를 최대한 활용합니다.
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