판매용 중고 ASML PAS 5000 / 1150C #293817888
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ID: 293817888
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.75
Resolution: 90 nm
DCO: 20
Throughput (WPH): >135.
ASML PAS 5000/1150C는 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을하는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 웨이퍼에서 집적 회로 (IC) 의 생산을 위해 설계된 정교한 석판화 장비로, 서브 미크론 해상도를 가진 피쳐의 정확한 패턴을 가능하게합니다. 이 고급 도구는 최첨단 반도체 제작 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하는 최첨단 (최첨단) 기술과 기능을 제공합니다. PAS 5000/1150C는 와퍼 (wafer) 표면에 패턴을 정확하게 이미징할 수있는 최첨단 프로젝션 렌즈 시스템을 갖추고 있습니다. 이 렌즈 단위 (lens unit) 는 패턴화 프로세스의 해상도, 초점 깊이 및 오버레이 정밀도를 결정하므로 스테퍼의 중요한 컴포넌트입니다. 고품질 광학 (optic) 과 정밀 정렬 (precision alignment) 메커니즘을 사용하면 스테퍼가 고급 반도체 장치에 필요한 엄격한 공차를 얻을 수 있습니다. ASML PAS 5000/1150C의 주요 기능 중 하나는 뛰어난 오버레이 정확도로 고해상도 패턴화를 제공하는 기능입니다. 스테퍼는 매우 정밀하게 서브 미크론 (sub-micron) 기능을 생산할 수 있으며, 이는 복잡한 피치 요구 사항을 갖춘 복잡한 IC 설계를 제조 할 수 있습니다. 이 해상도 수준은 더 작은 폼 팩터 (form factor), 높은 성능 (performance), 향상된 기능을 갖춘 고급 반도체 장치 생산에 필수적입니다. PAS 5000/1150C 는 해상도 기능 외에도 대용량 제조 환경에 탁월한 처리량과 생산성을 제공합니다. 스테퍼에는 패턴화 프로세스를 간소화하고 주기 시간을 최소화하는 고급 자동화 기능 (예: 웨이퍼 정렬, 노출 제어, 레티클 처리) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 반도체 제조업체는 고품질 및 일관성을 유지하면서 높은 생산량, 비용 효율적인 IC 생산을 달성할 수 있습니다. ASML PAS 5000/1150C는 또한 고급 이미징 및 정렬 기술을 통합하여 최적의 패턴화 결과를 보장합니다. 스테퍼는 DUV (Deep Ultraviolet) 및 EUV (Extreme Ultraviolet) 광원과 같은 고급 조명원을 사용하여 복잡한 IC 디자인 패턴화에 필요한 해상도와 대비를 달성합니다. 이 기계는 또한 복잡한 정렬 시스템 (예: 레이저 기반 정렬 센서 및 스테이지 포지셔닝 시스템) 을 통합하여 다중 패턴 레이어의 정확한 오버레이를 보장합니다. 또한, PAS 5000/1150C 는 추가 프로세스 모듈 및 업그레이드를 손쉽게 통합할 수 있는 모듈식 아키텍처로 설계되었습니다. 이러한 확장성을 통해 반도체 제조업체는 발전하는 기술 요구사항에 맞게 툴을 조정하고 향후 프로세스 문제를 해결할 수 있습니다 (영문). 스테퍼는 여러 개의 레티클 스테이지, 웨이퍼 스테이지, 정렬 시스템 (Alignment System) 으로 구성하여 특정 프로세스 요구를 충족하고 제조의 유연성을 보장할 수 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 5000/1150C는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 고급 반도체 제조 프로세스에 탁월한 해상도, 오버레이 정확도, 처리량 및 유연성을 제공합니다. 고급 광학 자산, 자동화 기능, 모듈식 설계를 통해 탁월한 성능과 기능을 갖춘 차세대 IC (IC) 를 생산할 수 있는 이상적인 도구입니다. 최첨단 기능을 갖춘 PAS 5000/1150C는 반도체 업계의 기술적 발전과 모바일 전자공학에서 고성능 컴퓨팅에 이르기까지 다양한 장치의 혁신을 가능하게 하는 핵심 요소입니다 (영문).
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