판매용 중고 ASML PAS 2500 / 45 #9245750
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ASML PAS 2500/45는 고밀도 정렬 및 위치를 제공하도록 설계된 단계 및 반복 웨이퍼 스테퍼입니다. "와퍼 '에" 스테핑' 을 하고 "디자인 '무늬 를 반복 하여 고도 의 정확성 과 반복성 을 가지고 있다. PAS 2500/45는 300mm 웨이퍼용으로 설계되었으며, 800mm 정렬기를 사용하여 고정밀 정렬 및 고급 정렬 기술을 제공하여 1nm의 정렬 정확도를 제공합니다. 또한 고급 스테퍼 패턴 매칭 (stepper pattern matching) 기능을 통해 빠른 패턴 인식 및 정확한 포지셔닝이 가능합니다. 45nm 해상도로 오버레이 성능이 높고 프로세스 수율이 향상된 고정밀 이미징이 가능합니다. ASML PAS 2500/45는 고급 이미지 분석 및 이미지 처리 도구를 사용하여 웨이퍼 피쳐의 작은 형상을 감지합니다. 또한 빠른 광학 검사 장비 (실시간 장애) 와 프로세스 최적화를 위한 하이엔드 이미지 라이브러리 (High-End Image Library) 를 갖추고 있습니다. 또한, PAS 2500/45에는 고급 열 관리 시스템 (Advanced Thermal Management System) 이 장착되어 있어 열 드리프트 (Drift) 를 줄이고 기계의 성능을 더욱 안정적으로 만들 수 있습니다. 이 장치는 또한 ± 2 ° C 내에서 스테퍼의 조절 된 온도 조절을 허용하여 최적의 작동 조건을 유지합니다. ASML PAS 2500/45 는 개방형 아키텍처 컴퓨팅 머신 (open-architecture computing machine) 과 운영 단순화와 생산성 극대화를 위해 설계된 강력한 소프트웨어 툴을 추가로 갖추고 있습니다. 이 독특한 아키텍처를 통해 기계는 고급 연구 (Advanced Research) 및 생산 응용 프로그램 (Production Application) 에 모두 사용될 수 있습니다. PAS 2500/45 는 고밀도 (high-precision) 정렬과 wafer 처리 요구 사항을 통합하려는 사람들에게 적합한 선택입니다. 이 제품은 고정밀도, 고급 정렬 기술을 제공하지만, 여전히 비용 효율적입니다.
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