판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #9356981

ASML PAS 2500/40은 최첨단 컴퓨터 제어 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. ASML PAS 2500/40은 직경 2 ~ 5 인치에서 다양한 웨이퍼 크기에 걸쳐 고해상도 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 설계를 통해 장치를 쉽게 설치, 재구성하여 사용자가 최적의 성능과 최대 처리량을 얻을 수 있도록 합니다. PAS 2500/40에는 고유하고 특허를받은 APC (Active Path Compensation) 기계를 사용하는 매우 정밀하고 열 최적화 된 선형 드라이브 단계가 포함되어 있습니다. 이 고급 APC 도구 (Advanced APC Tool) 는 레이저 광도를 조정하여 지형적 차이를 반영하여 웨이퍼 지형의 차이를 보완합니다. 따라서 사용자는 Wafer 의 Optical Component 를 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 PAS 2500/40 은 완전히 닫힌 루프 제어 (loop control) 자산을 통합하여 위치 및 노출 매개변수에 대한 완벽한 실시간 피드백을 제공합니다. ASML PAS 2500/40은 또한 이미지 안정화, 필드 곡률 수정, 여러 노출 모드 선택과 같은 여러 가지 고급 이미징 기능을 제공합니다. 또한 수동 초점 평면 조정이 필요하지 않은 효율적인 DAS (Differential Alignment Model) 도 포함되어 있습니다. 또한 ASML PAS 2500/40 에는 고정밀도 오버레이 (옵션) 기능이 있어 웨이퍼 상의 광학 패턴과 고품질 오버레이가 일치합니다. PAS 2500/40은 동일한 장비에 기본 옵틱과 고속 (감쇠 장치) 렌즈를 결합한 고급 옵티컬 디자인을 사용합니다. 결과적으로 해상도가 향상되고 왜곡이 낮아집니다. 또한, 시스템은 다양한 계층에 대한 광범위한 설정 라이브러리를 제공합니다. 또한, 광범위한 안전 기능 (Safety Feature) 세트는 사용자와 장치에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 요약하면, PAS 2500/40은 고급 디자인, 매우 정밀한 구성 요소 및 뛰어난 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 유연성, 정확성 및 이미지 정확성을 제공하여 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 시스템에 적합한 옵션을 제공합니다.