판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #9275403

ASML PAS 2500/40은 photolithography 및 기타 패턴 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼에는 가로 0.5 미크론 (미크론) 의 다양한 기능을 생산할 수있는 58 인치 해상도 렌즈가 장착되어 있습니다. 지름이 최대 16 "인 표면에 기능을 생성 할 수 있으며 반도체 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이, MEMS/NEMS 장치 등의 기판으로 적재 할 수 있습니다. ASML PAS 2500/40은 여러 가지 고급 기술을 사용하여 photolithography 프로세스가 정확하고 효율적인지 확인합니다. DCDAC (Dynamic Non-Linear Dispersive Aberration Correction) 는 투영된 이미지의 왜곡을 자동으로 평가하고 수정하기 위한 고유한 광 프로세스입니다. PAS 2500/40은 또한 PWM (Pulse Width Modulated) 조명을 통합 한 최초의 스테퍼로, 더 큰 정확성과 가벼운 균일성을 제공합니다. 스테퍼는 또한 특허를받은 ImprintPower 파장 제어 시스템을 사용하여 일관된 노출 용량을 보장합니다. PAS 2500/40은 작동하기 쉬운 컴팩트하고 효율적인 디자인을 제공합니다. 스테퍼의 물리적 설치 공간은 작으며, 단일 사용자가 쉽게 운영할 수 있습니다. 또한 스테퍼는 레이어 사이의 정밀 오버레이 정렬을 촉진하고 모서리 배치 정확도를 향상시키는 자동 정렬 기능 (automated alignment function) 을 제공합니다. 또한 정렬 기능의 다양성을 통해 사용자가 초점 (focus), 회전 (rotation), 위치 (position), 확대 (magnization) 와 같은 다양한 조정을 수행할 수 있습니다. ASML PAS 2500/40에는 고급 자체 정렬 마스크 스테이지도 있습니다. 이 첨단 기술은 최대 0.5 미크론 (미크론) 의 정확한 마스크 정렬을 보장하는 한편, 마스크의 잘못된 정렬로 인한 결함 가능성을 줄입니다. 궁극적으로 ASML PAS 2500/40은 고정밀 포토 리토 그래피 패턴을 생산하기위한 고급적이고 신뢰할 수있는 스테퍼입니다. 스텝퍼 (stepper) 는 단일 사용자 (single user) 에 의해 쉽게 작동되며, 다양한 고급 기술과 함께 제공되므로 각 패턴화 프로세스가 가능한 한 효율적이고 정확하게 실행되도록 합니다.