판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #9266133

ASML PAS 2500/40은 마이크로 칩 제조에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 5 축 이미징 광학, 2 개의 스캔 단계, 컴퓨터 제어 단계를 사용하여 칩에 고해상도 미세 구조를 구현하는 고정밀 장비입니다. 시스템은 가면에 광원 패턴을 투영하여 작동합니다. 그런 다음 "마스크 '는" 웨이퍼' 에 대하여 움직 이면서 "라이트 '는 부품 을 가로질러 주사 하여" 웨이퍼' 에 패턴 을 만든다. 이 프로세스는 원하는 패턴이 완료될 때까지 반복됩니다. ASML PAS 2500/40 (ASML PAS 2500/40) 은 패턴이 생성되는 기판으로 빈 웨이퍼를 사용하는 전체 필드 단위입니다. 이것 은 고도 의 정확도 를 제공 해 주며, 뛰어난 해상도 와 고도 의 반복성 을 지닌 극히 작은 "마이크로 '구조 를 구성 할 수 있게 해 준다. PAS 2500/40은 CAD (Computer Automated Design) 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 프로그램 파일을 작성, 저장 및 검색하여 매우 효율적입니다. 또한 이 기계에는 고해상도 이미징을 위한 최적화된 광학 도구가 장착되어 있습니다. 이중 경로 광학 자산을 사용하며 고해상도 다중 이미터 광원 및 광학 구성 요소를 통합합니다. 이를 통해 스테퍼는 40mm 필드 크기의 400nm 피쳐 크기와 8mm 필드 크기의 180nm 피쳐 크기를 생성 할 수 있습니다. PAS 2500/40에는 기울기 및 회전 단계 (tilt-and-rotation stage) 도 제공되므로 스캐닝 영역 내에서 기판의 정확한 방향을 지정할 수 있습니다. 스캔 속도 (scan speed) 및 스캔 모드 (scan mode) 를 사용자 정의할 수 있으며 스캔 작업 중에 이동 객체를 추적할 수 있습니다. ASML PAS 2500/40의 명암비 (contrast) 대 해상도 (resolution) 도 조정이 가능하여 다양한 샘플 크기와 기술을 최적화할 수 있습니다. ASML PAS 2500/40은 현재 반도체, 마이크로 일렉트로닉스, 생명 공학, 의료 기기 제조 등 다양한 산업에서 사용되는 효율적이고 정확한 모델입니다. 산업용 (Industrial Use) 을 위해 설계되었으며 최소한의 유지 보수가 필요하므로 광범위한 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.