판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #9245751
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ASML PAS 2500/40은 웨이퍼 스테퍼로, 회로 패턴을 웨이퍼로 전송하는 데 사용됩니다. 이 특정 모델은 EUV (Extreme Ultra-Violet) 이미징 광학을 사용하는 독특하고 검증된 고급 프로젝션 기술을 기반으로 뛰어난 장비 성능을 갖춘 고급 4 메가 픽셀 스테퍼입니다. 이미지 처리 능력이 향상되고 처리 시간이 단축됩니다. 대용량 챔버 (chamber) 크기로, 균질하고 안정적인 노출 조건을 보장하여 최적의 이미지 성능을 제공합니다. 또한, 프로세스 챔버 (process chamber) 크기가 높아 각 노출에 최대 10 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 스테퍼는 사용하기 쉽고 자동 정렬 기능이 있습니다. ASML PAS 2500/40 은 매우 정확한 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝 및 자동 초점 시스템을 제공하여 프로세스 중에 웨이퍼를 정확하게 노출할 수 있습니다. 고급 온보드 센서 (Advanced Onboard Sensor) 와 인터페이스를 통해 공기 오염 (Air contamination) 또는 손상된 웨이퍼 (Damaged Wafer) 의 문제를 감지하여 빠른 서비스와 최적의 이미지 품질을 제공합니다. 이 스테퍼는 또한 지능형 레티클 처리 (reticle handling) 및 고급 자동 수리 (automated repair) 를 갖추고 완벽한 프로세스 제어를 제공합니다. PAS 2500/40 은 또한 레이저 손상 최소화를 보장하는 특수 기계적 (mechanical) 기능으로 설계되었으며, 일관된 이미지 및 프로세스 품질을 제공합니다. 이 스테퍼는 웨이퍼 회전 시스템 (Wafer Rotation System) 과 자동 레티클 전송 로봇 (Automatic Reticle Transport Robot) 과 같은 기능으로 안정성과 안전을 보장하기 위해 제작되었습니다. 고급 데이터 수집 장치 (Advanced Data Collection Unit) 를 장착하여 상세한 프로세스 모니터링 및 운영 요약 보고서를 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 사용이 간편한 프로세스 제어 (process control) 소프트웨어를 통해 신속한 서비스 및 오류 없는 (error-free) 작업을 수행할 수 있으므로 노출 단계 간의 시간이 단축됩니다. 또한 원격 액세스 (Remote Access) 및 모니터링 시스템 (Monitoring Machine) 을 사용하여 사이트 및 ASML 간의 안전한 통신을 위한 전체 툴, 서비스 및 유지 보수 요구 사항, 온라인 스테퍼 상태를 모니터링할 수 있습니다. 전체적으로 PAS 2500/40 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 웨이퍼 이미징을 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 고급 이미징 기능, 안전 기능, 고급 데이터 수집 자산 등을 통해 높은 품질과 일관된 성능을 보장합니다.
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