판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #9010549

ASML PAS 2500/40은 볼륨 서브미크론 포토 리토 그래피 응용 프로그램에 대한 높은 정확성과 높은 처리량을 제공하는 2 빔 스텝 및 스캔 기계입니다. ASML PAS 2500/40 장비에는 두 개의 독립 모듈 (스캐너 및 소스) 이 포함됩니다. 스캐너 (Scanner) 는 주 제어 모듈이며, 전체 필드 소스 마스크 스캐너, 입사 제어 모듈 각도, CoaXP ress 통신 프로토콜 및 데이터 경로 및 이동을 동기화하는 컨트롤러가 포함됩니다. 한편, 소스 모듈은 전체 필드 40W 펄스 레이저 광원, 편광 광 전달 시스템, 파장 모니터, 그리드 모니터 (grid monitor) 로 구성되어 매번 정확한 노출이 이루어집니다. 이 두 모듈을 통해, PAS 2500/40 은 웨이퍼 스캐닝의 효율성과 정확성을 향상시키는 데 적합합니다. 또한 PAS 2500/40에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 터치 패널 디스플레이에서 장치를 쉽게 제어 할 수 있습니다. 또한 ASML PAS 2500/40은 SDF (Sequential Deflection Field Mode) 라는 고해상도 스캐닝 머신을 사용하므로 광각 노출의 배치 오류를 줄이고 긴 선 피쳐의 왜곡을 줄일 수 있습니다. 또한 ASML PAS 2500/40은 풀 필드 스테퍼이므로 최대 4000 개의 프로그래밍 가능한 빔을 제공 할 수 있으며, 이를 통해 고해상도 회로를 쉽게 이미징할 수 있습니다. 성능은 PAS 2500/40 에서 고급 해상도, 초점 깊이, 정확한 단계 동작 제어 기능을 제공합니다. 그 높은 정확도는 인코더 추적 (encoder tracking) 및 광학 도량형 도구 (optical metrology tools) 와 같은 정밀 선형 및 각도 측정의 조합을 통해 달성됩니다. 또한, 이 도구는 수차가 낮고 소음이 적어 뛰어난 이미징 및 사진 저항을 보장하도록 설계되었습니다. 마지막으로, PAS 2500/40에는 자동 웨이퍼 인식, 웨이퍼 식별 코드, 즉석 프로그래밍 등의 다양한 사용자 친화적 인 기능이 제공됩니다. 결과적으로, 이 웨이퍼 스테퍼는 고급 사진 해설법 (photolithography) 요구 사항에 가장 적합한 솔루션 중 하나입니다. 또한, 이 자산은 LED 표시등과 일관성 검사를 통해 간단하게 모니터링할 수 있으며, 모든 애플리케이션에 대해 우수하고 정확한 프로세스를 보장합니다.