판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #293629183
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ASML PAS 2500/40은 반도체, 디스플레이 패널 및 의료 이미징 구성 요소를 제조하기 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 광학 이미징 (optical imaging), 투영 및 포지셔닝 기술이 적용되어 반도체 처리 응용 분야에서 최적의 이미지 균일성 및 기판 동작 제어를 제공합니다. 장비의 핵심에는 2 개의 125mm 레이저를 결합하여 단일 250mm 소스를 생성하는 듀얼 이미지 설정 (dual-imager setup) 이 있습니다. 이 기능은 최대 8 "직경의 기판의 높은 처리량과 매우 높은 해상도의 이미징을 담당합니다. 또한, 이중 레이저 시스템은 1nm 미만의 변동으로 350nm 광원 영상이 가능합니다. 이 장치에는 기판의 정확한 이동을 위해 고급 x, y, z 모션 제어 머신이 장착되어 있습니다. 빠르고 정확한 스테이지 이동을 위해 설계된 정밀 선형 모터를 사용합니다. 높은 처리량, 고해상도 (High Resolution), 높은 정밀도 위치 제어 (Position Control) 기능을 통해 시간당 최대 40개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 자산에 내장된 통합 웨이퍼 처리 모델이 있습니다. 이렇게 하면 기존 기판 로드 프로세스가 자동화되어 복잡성이 줄어들고 주기 시간이 늘어납니다. 로더 (loader) 와 언로더 (unloader) 는 기판 위치를 유지하고 프로세스 시간을 최적화하기 위해 관절 암 설계를 사용합니다. 자동화 (Automation) 와 정밀 동작 제어 (Precision Motion Control) 를 결합하여 장비는 균일 한 이미징 및 처리 시간을 달성 할 수 있습니다. 시스템의 기능을 더욱 향상시키기 위해 ASML PAS 2500/40 에는 다양한 옵션 기능이 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어 제품군은 다양한 기판 (기판) 을 수용할 수 있으며, 맞춤형 프로세스 및 레시피 (레시피) 를 허용합니다. 또한, 이 장치는 스핀 린스 건조기, 클린 모듈, 슬릿 램프 시스템 등 다양한 프로세스 하드웨어와 호환됩니다. PAS 2500/40은 매우 효율적이고 맞춤형 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 정밀 동작 제어, 이중 레이저 이미징, 자동 웨이퍼 처리, 강력한 소프트웨어 제품군을 결합하여 최상의 이미징 및 프로세스 제어를 제공합니다. 높은 처리량, 고급 이미징 기술, 다양한 프로세스 하드웨어와의 호환성을 갖춘 PAS 2500/40 은 모든 반도체 프로세싱 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.
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