판매용 중고 ASML PAS 2500 / 30 #9356985

ASML PAS 2500/30은 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 개인용 고해상도 CD 스테퍼입니다. 이 제품은 서브프로미터 (submicrometer) 용량의 제조 애플리케이션을 위한 강력한 솔루션으로, 탁월한 프로세스 제어, 높은 처리량, 매우 깨끗한 운영 기능을 제공합니다. 이 스테퍼는 전자 빔 리소그래피 (Electron Beam Lithography) 의 장점과 소형 플랫폼의 유연성 및 호환성을 결합하여 반도체 제조에 완벽한 선택이됩니다. PAS 2500/30의 200mm 웨이퍼 플랫폼은 사용 가능한 최고 해상도의 웨이퍼 처리를 제공하여 다른 통합 리소그래피 시스템을 능가합니다. ASML PAS 2500/30은 고급 알고리즘을 사용하여 최첨단 매개 변수 제어를 제공하여 전체 분야에서 하위 아이콘 오버레이를 최적화합니다. 웨이퍼 스테퍼는 빔 형성 거울 (beam-forming mirror) 과 함께 회절 광학 요소를 사용하여 광범위한 작업 거리에서 반복 가능한 오버레이를 보장합니다. PAS 2500/30은 정전기 방전 조건을 줄이는 디자인으로 매우 깨끗한 환경을 제공합니다. 이 조합은 포토 esist를 웨이퍼 (wafer) 로 흩어뜨리는 것을 제거하며, 유사 공정 위도로 민감한 물질을 처리 할 수 있습니다. 총 통합 환경에는 정확한 2축 프로그래밍 가능 정렬 시스템, PC 제어 온도 및 등각 등각 코팅 시스템이 포함됩니다. ASML PAS 2500/30 은 모듈성 (modularity) 을 고려하여 설계되었으며, 사용자는 시스템 구성을 확장하거나 수정하여 구성 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 설치 및 최적 제어를 용이하게 하는 직관적인 그래픽 인터페이스와 통합된 도량형/검사 도구 (Full Suite of Integrated Metrology and Inspection Tools) 도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 확장 가능한 냉각 솔루션으로 설계되어, 생산 요구가 증가함에 따라 성능이 더욱 향상됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 PAS 2500/30은 고급 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 스마트 선택이 가능합니다.