판매용 중고 ASML PAS 2500 / 30 #9234701

ASML PAS 2500/30은 현대 반도체 산업의 요구를 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 일련의 스테퍼는 Maskless Lithography, Optical Pattern Recognition 및 패턴 오버레이에서 유연한 리소그래피 옵션을 제공합니다. PAS 2500/30은 업계 최고의 기술로 구동되며, 높은 수율과 낮은 소유 비용을 제공하도록 설계되었습니다. ASML PAS 2500/30은 독점적인 Quad-VFD HSIS Optics와 독특한 Veeco 조명 디자인으로 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 이 스테퍼는 고출력 적외선 레이저 (HPD) 를 통해 뛰어난 이미징 출력과 초점 깊이를 제공하여 최적화된 균일성과 해상도를 제공합니다. 또한 Quad-VFD HSIS optics는 고효율, 정확도가 높은 설계 최적화를 제공하며 고급 패턴 검색 응용 프로그램을 지원합니다. Veeco 조명 디자인은 뛰어난 이미징 효율성, 패턴 간섭 최소화, 빠른 처리 속도를 제공합니다. 또한 PAS 2500/30을 사용하면 패턴 오버레이 (Pattern Overlay) 기능을 사용할 수 있으며, 이를 통해 고급 리소그래피 제작을 위해 여러 레이어를 정확하게 측정하고 정렬할 수 있습니다. 이 스테퍼의 고급 하드웨어 및 소프트웨어는 복잡한 리소그래피 (lithography) 응용 프로그램에서 향상된 반복성과 정확성을 제공합니다. 또한 X 및 Y 축을 따라 최대 +/- 1um, 6 인치 웨이퍼에서 Z축을 따라 최대 +/- 0.5um의 정렬 정확도를 제공합니다. 자동 리소그래피 제작을 위해 ASML PAS 2500/30은 마스크없는 리소그래피 및 광학 패턴 인식 기능을 제공합니다. 마스크 없는 리소그래피 (Maskless lithography) 를 사용하면 마스크나 마스터를 사용하지 않고 고품질 웨이퍼 패턴과 복잡한 모양을 자동으로 생성하여 전반적인 생산 비용을 줄일 수 있습니다. 통합 된 광학 패턴 인식 (Optical Pattern Recognition) 기능은 빠른 처리 시간을 위해 매우 정확한 패턴 인식 및 자동 웨이퍼 스티칭을 제공합니다. PAS 2500/30은 정밀도가 필요한 최신 첨단 리소그래피 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 고급 이미징 성능, 정확한 오버레이 기능, 최첨단 마스크 없는 리소그래피 (maskless lithography) 및 OPR 기능을 제공하여 웨이퍼 생산이 향상되었습니다.