판매용 중고 ASML PAS 2500 / 30 #9043931
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ID: 9043931
웨이퍼 크기: 5"
Stepper, 5"
Operator training: No
PEP 2 (Color Graphics): No
PEP 1/3/4: Yes
SECS (I/II): No
SECS Job creator: No
Single reticle SMIF: No
Matching manager: No
Extended file system (MEP): No
Focus enhancement package: Yes
Line scan: Yes
Dose control: No
Reticle error correction: No
Throughput enhancement: Yes
Batch status light: Yes
Reticle carrier identification: No
Extended power supply: No
88 um Error detection: No
RICO Verification: No
Chuck spot detection: No
Wafer track interface: Yes
Wafer tilt monitor: No
Mechanical / Electrical / Options:
Interface: SVG 88
Stamp drive type: TEP
Stamp foot type: Clean
Stamp POU filter: No
Cyber: SSSD
Air shower (OEPS): Yes
P-Chuck: MIII
P-Chuck top flat finder: No
Microscope: Fixed
Lamp HG: 450W
Alignment PCBD : 4022.436.24720
Analog PCBD in VME: Yes
HDD: Solid state
TCU: No
HCU: No
Ionizer: No
Box 1: KAY
Box 2: KAY
Box 3: KAY
Box 4: KAY
Box 5: KAY
Software: 8.1.0
Optical performance:
Uniformity: 2.7
Matching X magnification: 252
Matching Y magnification: 191
UDOF @ 0.7 Micron status Q4-2008: 2.7
Astigmatism noticed: No
Focus stability: No.
ASML PAS 2500/30 (ASML PAS 2500/30) 은 리토 그래피 마스크에서 집적 회로 패턴을 만드는 데 일반적으로 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 특정 웨이퍼 스테퍼 모델은 30 x 30 mm의 광학 필드 크기와 0.39 jm의 해상도를 제공합니다. 스테퍼 모델로서, PAS 2500/30은 레티클을 사용하여 고강도 UV 레이저 광원 (248 nm의 균일 한 노출 파장) 을 사용하여 웨이퍼에 원하는 이미지를 패턴화합니다. ASML PAS 2500/30은 다른 스테퍼 모델에 비해 +/-7 nm의 오버레이 정확도가 크게 향상되어 마스킹, 패턴, 에칭, 리소그래피 등 다양한 작업에서 매우 다양하고 유리합니다. 또한 평균 3 분의 빠른 환율을 제공합니다. 또 다른 장점 은 "머신 '이 거대 한" 반도체 웨이퍼' 와 다양 한 구조 와 재료 를 가진 기판 을 처리 할 수 있게 해 주는 여러 파장 기능 이다. PAS 2500/30은 세계 최고 수준의 안전 기능을 갖추고 있으며, 레이저 안전 쉴드 (Laser Safety Shield) 및 방진 배기 시스템 (Dustproof Exhaust System) 을 포함하여 인원의 안전한 운영 및 보호 기능을 제공합니다. 또한 처리 속도가 시간당 최대 18 웨이퍼 (wafer per hour) 로 고성능 출력을 제공하여 생산성 및 비용 효율성을 크게 높입니다. 웨이퍼 스테퍼는 내장형 진단 및 피드백 시스템 (feedback system) 에 의해 지원되며, 생산 진행, 온도, 습도, 진동 수준 등 다양한 측면을 추적하여 잠재적 문제 또는 생산 및 빠르고 효율적인 반응 시간을 신속하게 식별합니다. 요약하자면, ASML PAS 2500/30 은 반도체 업계의 사용을 위해 특별히 설계된 정교한 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 로서, 다양한 안전 및 유지 보수 기능을 갖춘 대형 기판 및 소재의 효율적인 처리에 적합하며, 모두 안정적이고 비용 효율적인 패키지입니다.
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