판매용 중고 ASML PAS 2500 / 30 #293817891

ASML PAS 2500 / 30
ID: 293817891
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.43 Resolution: 800 nm DCO:  150 Throughput (WPH): 60.
ASML PAS 2500/30은 고급 엔지니어링 및 기술 기능을 갖춘 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 반도체 산업의 선두 주자로서, 소규모의 정밀 부품을 생산하는 동시에 낭비되는 물질의 양을 줄입니다. PAS 2500/30에는 최대 30 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 5 축 스캐너가 장착되어 있으며 고객이 정의한 척 직경을 6 인치에서 12 인치까지 구성할 수 있습니다. 내장형 공기 베어링은 높은 정밀 위치를 보장하기 위해 사용됩니다. 이 설계는 빠른 가속 속도와 고속 스캔 속도를 통해 높은 처리량을 제공합니다. ASML PAS 2500/30의 비정형 기능은 뛰어난 초점 기능입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 파장 248nm에서 최대 10nm까지 웨이퍼 표면의 잔류 초점 오류를 제거 할 수 있습니다. 게다가, 스테퍼는 최고 품질의 이미지를 자동으로 제작할 수 있습니다. PAS 2500/30은 완전히 자동화되어 원활하게 실행되며 프로세스를 지속적으로 최적화합니다. 또한 자동 노출 제어 (Automatic Exposure Control) 를 통해 기계가 다양한 웨이퍼 유형으로 노출 매개변수를 조정하여 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 를 프로그래밍하거나 설정하는 데 필요한 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 이외에도 중복된 안전 (Safety) 기능과 전용 버퍼 시스템 (Buffer System) 을 통해 스테퍼의 생산성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. ASML PAS 2500/30 은 안정성을 위해 구축되었으며 다운타임을 최소화하면서 장기간 작동할 수 있습니다. 첨단 설계 (Advanced Design) 와 뛰어난 엔지니어링 (Superior Engineering) 을 통해 가장 효율적인 방법으로 최고 품질의 컴포넌트를 생산할 수 있습니다. 업계 최고의 정확성과 반복 (repeatability) 기능을 통해 고객은 이를 통해 최고의 부품을 일관되게 생산할 수 있습니다. PAS 2500/30은 첨단 기술 엔지니어링 프로젝트를 위한 완벽한 선택입니다.
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