판매용 중고 ASML PAS 2500 / 10 #9241066

ASML PAS 2500/10은 반도체 제조 장비 회사 ASML이 설계하고 생산 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 비교적 진보된 기계이며 고급 이미징, 패턴, 이동 기술을 사용하여 웨이퍼에 포토레지스트를 정확하게 패턴화합니다. 기계에는 두 개의 광학 배치 시스템 (웨이퍼 위치를 결정하는 것) 과 미세한 패턴화 장비 오프셋 (microscopic offset) 에 대한 정렬 필드를 찾는 시스템 (alignment field) 이 있습니다. 패턴화는 5 인치 삼각형 거울이있는 10 미크론 레이저로 구성된 투영 장치가있는 투영 시스템 (projection system) 을 사용하여 달성됩니다. 또한 "웨이퍼 '를 움직 일 수 있는 조작 장치 가 있어서" 웨이퍼' 의 여러 부분 을 "레이저 '의 빛 에 노출 시킬 수 있다. 위치 지정 및 정렬 시스템을 사용하면 1 미크론 (micron) 편차 미만으로 포토 esist의 정점 배치가 매우 정확합니다. 프로젝션 머신은 리소그래픽 렌즈 (lithographic lens) 를 사용하여 특수 렌즈에서 더 나은 해상도로 0.5 미크론의 미세 노출 해상도를 허용합니다. 이 도구는 또한 자동 초점 (auto-focus) 을 사용하여 패턴이 항상 선명한 초점에 있는지 확인합니다. PAS 2500/10에는 웨이퍼 (wafer) 를 계속 움직이는 열 척 (thermal chuck) 과 패턴화하는 동안 웨이퍼를 고정시키는 서리 척 (frost chuck) 으로 구성된 웨이퍼 척 메커니즘이 장착되어 있습니다. 열 척은 또한 ASML PAS 2500/10에 다른 노출 작업을 빠르게 전환 할 수있는 기능을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 안정적이고 반복 가능한 자동 모션 제어를 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테이지도 포함되어 있습니다. PAS 2500/10에는 총 6 개의 동작 축이 있으며, 3 개는 웨이퍼 동작 전용, 1 개는 프로젝션 렌즈, 1 개는 레티클, 1 개는 웨이퍼 스테이지입니다. 또한 1 미크론 내에서 photomask 정렬을 허용하는 5 점 상관 마커가 있습니다. ASML PAS 2500/10 (ASML PAS 2500/10) 은 또한 자동화 된 포토 esist 베이킹을위한 고급 듀얼 축 조작기를 갖추고 있으며, 프로세스의 정확도를 높이고 포토 esist 코팅이 웨이퍼 위에 균등하게 분산됩니다. 또한 "웨이퍼 '를" 와퍼' 로부터 기계 로 쉽게 옮길 수 있는 컨베이어 에셋 을 가지고 있다. PAS 2500/10은 매우 정확하고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 이미징, 패턴화, 모션 기술로 반도체 제조 장비에 대한 ASML 전문 지식을 통해 중소기업, 중소기업, 대규모 생산이 가능합니다. 동작 정밀도 (motion accuracy) 는 단단한 공차를 보장하며, 포토리스 (photoresist) 베이킹 모델은 제어되고 정확한 노출을 보장하여 비용 효율적인 방식으로 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다.