판매용 중고 ASML PAS 2500 / 10 #9043929

ASML PAS 2500 / 10
ID: 9043929
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1987
Stepper, 6" 1987 vintage.
ASML PAS 2500/10은 반도체 처리에 사용되는 고급 리소그래피 장비 인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 리소그래피 "시스템 '은" 실리콘 웨이퍼' 에 아주 훌륭 한 구조 를 인쇄 하는 데 사용 되는데, 그것 은 어떤 전통적 인 영상 이나 인쇄 방법 보다 훨씬 작은 것 이다. PAS 2500/10은 광 리소그래피 기술을 사용하여 실리콘 웨이퍼에 라인 패턴 (line pattern) 과 회로 (circuit) 컴포넌트를 생성합니다. 이 기계는 기능 크기를 25 나노미터 (25 나노미터) 까지 인쇄 할 수 있으며, 현대 반도체 제작에 사용되는 가장 복잡한 구성 요소 중 일부를 생산할 수 있습니다. ASML PAS 2500/10은 여러 가지 주요 구성 요소를 사용하여 우수한 결과를 생성합니다. 광학 영상 장치 (Optical Imaging Unit) 는 많은 렌즈, 거울 및 필터 모음으로 구성되어 있으며, 결합되어 들어오는 빛을위한 정확한 광학 경로를 형성합니다. "레이저 '를 사용 하여" 마스크' 위 에 "이미지 '를 만들고, 큰" 렌즈' 배열 을 사용 하여 빛 을 "웨이퍼 '에 집중 시킨다. 그런 다음 "웨이퍼 '를 광학 장치 안 으로 옮겨 원하는 회로 부품 의" 이미지' 를 만든다. 여러 가지 독특한 기능으로 인해 PAS 2500/10은 반도체 산업에 매력적인 선택이되었습니다. 최소 25nm 크기의 피쳐와 최소 선 너비 (0.1) 의 피쳐를 재생산하여 매우 높은 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 처리량이 높아 시간당 최대 2500 개의 웨이퍼 (wafer per hour) 와 높은 자동화 (automation) 를 통해 제조 시간과 비용이 절감됩니다. ASML PAS 2500/10은 20 년 이상 사용되었습니다. 그 성과 와 신뢰성 으로 인하여 "반도체 '산업 의" 메인 스테이' 가 될 수 있었으며, 많은 산업 들 이 이 고급 석판화 "머신 '을 계속 이용 하고 있다. 이 석판화 도구 (lithography tool) 는 우수한 성능, 신뢰할 수 있는 결과, 낮은 소유 비용 등으로 인해 업계에서 지배적 인 제품으로 남아 있습니다.
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