판매용 중고 ASML NXT-AI #9304318

ASML NXT-AI는 반도체 웨이퍼 표면의 고정밀 패턴을 가능하게하는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 스테퍼 (stepper) 인데, 이는 스텝 앤 반복 (step-and-repeat) 프로세스를 사용하여 노출 장비의 경우와 마찬가지로 각 웨이퍼를 완전히 스캔하는 것과 달리, 웨이퍼 표면을 패턴화하기 위해 저항 재료를 배치합니다. 기계는 기판 전달 시스템, 레이저 노출 장치, 노출 후 베이크 (PEB) 기계 및 검사/청소/건조 도구의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기판 배달 자산 은 "웨이퍼 '를 회전 하는" 플래터' 에 배치 한 다음 광학 "스캐너 '로 보내진다. "스캐너 '는" 레이저' 의 "에너지 '를 사용 하여 저항성 물질 을 노출 시킴 으로써" 웨이퍼' 표면 에 "패턴 '을 만든다. PEB 모델은 저항을 구워 패턴 양식을 돕는 데 사용됩니다. 일단 "패턴 '을 만들면 검사 장비 는 결함 의" 웨이퍼' 를 검사 하는 데 사용 되며, 청소/건조 "시스템 '은 선적 전 에" 웨이퍼' 를 닦는 데 사용 된다. ASML NXT AI의 주요 기능은 이중 단계 x-ray 투영 장치이며, 이는 고정밀 나노 패턴화를 가능하게합니다. 이 기계는 매우 상세한 패턴 웨이퍼 표면에 8 나노 미터 해상도를 사용합니다. 머신에는 오프 축 (off-axis) 소스가 장착되어 있으며, 모서리에서 모서리까지 더 균일한 패턴을 만들어 패턴의 정확도를 향상시킵니다. 또한, 기계에는 다양한 투여 및 배치 시스템뿐만 아니라 자체 정렬 (self-alignment) 도구가 장착되어 있어 프로세스 변동성을 제한합니다. NXT-AI 웨이퍼 스테퍼는 고속 내부 메모리 (내장형 메모리) 및 처리 기능으로 설계되어 높은 처리량과 효율적인 작동을 보장합니다. 기계는 VOC가 없으며 높은 패턴 충실도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 AEC-Q213 요구 사항을 준수하므로, 처리 오류가 발생할 경우 즉시 안정적으로 조정할 수 있습니다. 또한 자동화된 유지 보수 (maintenance) 기능을 갖추고 있어 다운타임을 줄이고 장기적인 신뢰성을 높일 수 있습니다. 전반적으로, NXT AI 웨이퍼 스테퍼는 충실도, 정밀도 및 신뢰성이 높은 반도체 웨이퍼에 고해상도 패턴을 제공 할 수있는 고급 기계입니다. 이 기계는 반도체 제조업체에 최대 효율성과 성능을 제공하도록 설계되었으며, 고급 기능을 통해 복잡하고 고해상도의 나노 패턴 (nano-patterned surface) 을 만들 수 있습니다.