판매용 중고 ASML NXT 1950i #9293666

ASML NXT 1950i
ID: 9293666
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Lithography system, 12" 2012 vintage.
ASML NXT 1950i는 웨이퍼 기판에서 메모리 칩 생산을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 고급 멀티 존 (multi-zone) 조명 장비를 사용하여 웨이퍼에 광원을 정확하게 투영합니다. 이를 통해 패턴 프로세스 내에서 노출 제어가 향상됩니다. 고유 한 조명 시스템과 독점 스텝 앤 리피트 기술 (step-and-repeat technology) 의 조합으로, 특징 해상도, 위치 정확도 및 처리량의 경계를 밀고 NXT 1950i를 시장에서 분리시킵니다. 이 기계는 작은 설치 공간과 모듈식 설계 (modular design) 를 갖추고 있어 설치 및 유지 관리가 간단합니다. 많은 경쟁사 시스템의 대규모 오버헤드 (overhead) 가 필요하지 않으므로 비용을 절감하고 워크플로를 단순화할 수 있습니다. 이 장치는 시뮬레이션, GUI (Graphic User Interface) 도구 등 다양한 소프트웨어 기능을 제공하여 생산성을 극대화합니다. 또한 수동 운영자 감독이 필요하지 않은 직관적인 자동 정렬 머신 (automated alignment machine) 을 갖추고 있습니다. ASML NXT 1950i에는 고도로 높은 해상도 패턴과 높은 처리량을 제공하는 고급 광 (optical) 툴이 있습니다. 탁월한 정밀도는 최신 프로젝션 광학과 독특한 듀얼 이미지 자산을 통해 달성됩니다. 또한, 기계는 고급 X-Y 스캔 시스템을 갖추고 있으며, 정확하고 반복 가능한 정렬 노출을 허용하며, 이는 초점과 성능이 우수합니다. 또한 NXT 1950i 는 운영 주기 전반에 걸쳐 최대 수준의 처리량과 정확성을 보장하는 자동 레벨링 (auto-leveling) 기술을 제공합니다. 시스템 내의 자동 수정 메커니즘과 독자적인 실시간 모니터 (Real-Time) 교정 시스템은 프로세스 성능 저하를 최소화하는 데 도움이 됩니다. 강력한 4G 다크 필드 마스크 모델과 결합 된 이러한 기술로 인해 기계는 안정성이 높습니다. ASML NXT 1950i는 뛰어난 출력 품질과 생산량으로 24/7을 실행하도록 설계되었습니다. 고급 기능은 탁월한 프로세스 수익률과 비용 절감 효과를 제공합니다. 그 결과, 메모리 생산, 사진 마스크 제조, 평면 패널 디스플레이 제작, 의료 기기 생산, 광학 센서 등의 분야에서 매우 복잡한 프로세스 개발에 적합합니다.
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