판매용 중고 ASML NXT 1950Ai #9280821
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판매
ID: 9280821
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
ARF Scanner, 12"
Process: Lithography
CIM: SECS, GEM Inform pro
Hardware configuration: (Fab)
Main system
FOUP
Options:
ART RH Interface
IRL XP
TOP RC 1 & 2
Aux exhaust unit
CYMER Laser
Flex ray
Base liner focus / OL / HOPC
Smash XY
Agile 1
Spotless
Aux load port
Focus improvement package
PEP High dose
Hardware configuration: (Sub fab / Auxiliary units)
CYMER XLR 660 Laser
2012 vintage.
ASML NXT 1950AI는 반도체 제조 기술의 주요 혁신가 중 하나 인 ASML의 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 ASML NXT 시리즈 제품에 추가된 최신 제품으로, 다양한 Wafer 처리 요구 사항을 충족하는 탁월한 정밀도, 다용도, 확장성을 갖추고 있습니다. NXT 1950AI에는 초단파, 완전 안정화 된 레이저 구성 요소 및 4 배 단색기로 구성된 고급 석판화 프로젝션 광학이 장착되어 있습니다. 이것은 현대 웨이퍼 리소그래피 (wafer lithography) 에 필수적인 매우 복잡한 투영 패턴에 대한 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 프로젝션 렌즈 (Projection Lens) 에는 사용 가능한 최고 화질을 위해 새로 개발 된 수차 교정 시스템이 장착되어 있습니다. 이 기계는 4 개의 축이있는 복잡한 동작 장치 (motion unit) 를 특징으로하여 스테퍼를 정확하고 빠르게 웨이퍼 주위를 이동할 수 있습니다. 이렇게 하면 "와퍼 '를 투영 광학 에 맞추어 정밀 히 정렬 할 수 있고" 렌즈' 의 초점 을 "웨이퍼 '표면 에 맞추어 조정 할 수 있다. ASML NXT 1950Ai는 대부분의 고급 반도체 웨이퍼 (wafer) 생산 요구 사항 내에서 기능 크기를 65 나노 미터까지 해결할 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '에 빠른" 빔' 을 전달 할 수 있는 "레이저 '원 의 고강도 에 의하여 가능 하게 된다. 또한 더 세밀한 리소그래피 기능에 필요할 때 노출 시간이 연장됩니다. 그 에 더하여, 기계 에는 자동화 된 정렬 기계 가 있어서 "웨이퍼 '를 쉽고 정확 하게 정렬 할 수 있다. 더 작은 차원에서 웨이퍼를 제조 할 때 NXT 1950Ai는 HRDW (High-Resolution Direct Write) 프로세스에 사용할 수도 있습니다. 이러한 프로세스를 통해 웨이퍼는 석판화 비용 (lithographic costs) 을 줄이기 위해 직접 작성됩니다. 마지막으로 ASML NXT 1950AI는 가동 시간과 생산성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 대용량 냉각 툴과 첨단 진동 격리 (Advanced Vibration Isolation) 기능을 통해 일관되고 안정적인 운영을 지원합니다. 또한, 모든 구성요소는 액세스/문제 해결이 매우 용이하여, 정기적인 유지 보수 작업에 소요되는 시간과 비용이 최소화됩니다. 결론적으로, NXT 1950AI는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 기술의 최첨단에 있으며 반도체 생산을위한 강력한 도구입니다. 광범위한 웨이퍼 리소그래피 프로세스 (Wafer Lithography Process) 에 대한 최고 수준의 정확성과 정확성을 제공하며, 더 세밀한 차원의 반도체 장치 생산을위한 직접 쓰기 기능을 제공합니다. 또한 견고한 설계를 통해 안정적인 운영 및 최소한의 유지 관리 비용을 보장할 수 있습니다.
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