판매용 중고 ASML NP-5080 #9292404
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ASML NP-5080은 고급 집적 회로 (IC) 를 생산하는 데 사용할 수있는 최고 성능의 리소그래피 기술을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼 도구입니다. NP-5080은 혁신적인 디자인과 획기적인 기술을 통합하여 뛰어난 결과를 창출하는 몰입 석판화 (immersion lithography) 장비입니다. 이 시스템은 차세대 레이저 도량형 장치 (Laser Metrology Unit), 고급 자동 정렬 시스템 어레이 (Array of advanced Automatic Alignment System) 및 강력하고 완전히 자동화된 패턴 생성기를 갖추고 있습니다. ASML NP-5080의 광학 기계는 고출력 아르곤 플루오 라이드 (ArF) 엑시머 레이저와 고급 고효율 광학 공구로 구성됩니다. "레이저 '빛 은 고급 분광학 기법 을 사용 하여 최적화 되어" 패턴화' 과정 전체 에 걸쳐 일관성 있는 조명 을 제공 한다. 자산에는 반사기, 렌즈, 프리즘 및 코팅을 포함하는 7 개의 통합 광학 구성 요소가 있습니다. 이러한 구성요소는 모두 탁월한 성능과 효율성을 위해 신중하게 설계되고 테스트되었습니다. 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System) 의 배열을 통해 웨이퍼 (Wafer) 단계를 일관되고 정확하게 포지셔닝할 수 있으므로 웨이퍼 유형이나 기능에 관계없이 패턴을 정확하게 배치할 수 있습니다. 완전 자동화 된 패턴 생성기를 사용하면 가장 복잡한 IC 설계를 위해 빠르고 일관된 패턴 생성이 가능합니다. 또한 다양한 포토 마스크 (photomask) 를 생성하여 웨이퍼 생산 프로세스를 빠르고 경제적으로 만들 수 있습니다. NP-5080 은 정확성과 성능이 뛰어난 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고성능 엑시머 레이저 (excimer laser), 고급 옵티컬 모델 (Optical Model), 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System), 빠르고 정확한 패턴 생성을 통해 복잡한 설계 기능을 갖춘 매우 복잡한 집적 회로를 생산할 수 있습니다.
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