판매용 중고 ASML MicraScan II+ #128863

ASML MicraScan II + 는 주사위 및 반도체 웨이퍼 생산을 위해 설계된 고속 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 이전 세대의 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에 비해 최대 5 배 빠른 처리량을 제공하도록 설계되어 대용량 생산 요구에 적합합니다. 하드웨어/소프트웨어의 독보적인 조합으로, 정확성과 성능이 향상되었습니다. 이 장치는 x-y 평면에서 신뢰할 수 있고 프로그래밍 가능한 움직임을 제공하는 선형 스테퍼 (linear stepper) 를 특징으로하며, 개별 레티클에 대한 위치 정확도는 0.4õm입니다. 이것은 한쌍의 LED 목표, 레이저 간섭법 (Laser interferometry) 및 가변 레이저 파장을 갖춘 고급 광학 시스템과 결합하여 균일하고 정확한 위치를 제공합니다. 이 시스템에는 정확한 이미지 등록 및 정확한 이미지 분석을 위한 소프트웨어 알고리즘이 내장된 고해상도 디지털 이미징 (Digital Imaging) 탐지기 (Detector) 도 포함되어 있습니다. MicraScan II + 에는 모듈식 디자인이 있으며, 여러 작업에 맞게 구성 가능한 구성 요소를 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 통합 자동 웨이퍼 핸들러 (automated wafer handler) 가 포함되어 있어 웨이퍼 및 레티클을 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 내부 소프트웨어를 통해 실시간 프로세스 제어 (process control) 및 레티클 노출 및 조명 설정을 손쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 여러 가지 산업 표준을 충족하도록 설계되었으며 UL, CSA, CE 인증을 받았습니다. ASML MicraScan II + 는 고속, 정확성, 프로그래밍 가능한 성능 덕분에 대용량 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 와 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 를 통해 각기 다른 작업을 손쉽게 사용자 정의할 수 있으며 모든 안전 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 더 빠르고, 더 정확한 웨이퍼 (wafer) 및 레티클 (reticle) 포지셔닝을 통해 생산량을 높이고 생산량을 높일 수 있습니다.