판매용 중고 ASML LISAP 3P #9292410

ASML LISAP 3P는 photolithography 응용 프로그램을 위해 반도체 산업에서 사용되는 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 효율적이고, 효율적이며, 정밀한 증분 이동 및 반도체 웨이퍼 레이어 정렬을 위해 정교한 3 개 플래튼 구조를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 스테퍼의 주요 구성 요소는 주 프레임, 드라이브 장비, 동기 모터, 간섭 모터, 광학 시스템, 진공 장치 및 기타 주변 장치입니다. 메인 프레임 (main frame) 은 웨이퍼 스테퍼의 안정적이고 안정적인 이동과 작동을 보장하도록 설계되었습니다. 이것은 내부 주택, 지지판, 외벽으로 구성된 초경량, 견고한 구조로 이루어집니다. 드라이브 머신은 임베디드 드라이브 모터 (embedded drive motor) 를 통합하여 스테퍼의 부드럽고 정확한 증분 동작을 제공합니다. "모우터 '는" 프로그램' 할 수 있는 모터 드라이버 로 구동 되는데, 이 "모우터 '는 뛰어난 정확도 로" 모우터' 의 속도 를 정확 하게 제어 할 수 있다. 광학 도구는 빔 셰이핑 (beam shaping) 기술을 사용하여 스테퍼 동작의 최고 해상도와 정확도를 확인합니다. 이 자산은 다중 계층 광학 기술, 마이크로 리토 그래피 기술 (micrelithography technologies) 및 정확한 교정 (calibration) 의 조합으로 구성되며, 모두 완벽한 레이저 정렬과 웨이퍼의 정확한 위치를 보장하기 위해 함께 작동합니다. 진공 "모델 '은 안전 한 환경 을 유지 하는 데 사용 되고 있는 반면," 스테퍼' 는 작동 하고 있으며, 부드럽고 깨끗 한 작업 환경 을 제공 한다. 스테퍼에는 다양한 고급 기능이 있어 사용자 정의가 가능합니다. 운영자의 콘솔에는 터치스크린 (touchscreen) 과 버튼 (button) 이 장착되어 있어 직관적인 방법으로 스테퍼를 프로그래밍하고 작동할 수 있습니다. 다양한 유형의 포토리토그래피 프로세스 (photolithography process) 단계를 실행하도록 프로그래밍할 수 있으며, 프로세스 요구사항에 따라 매개변수를 자동으로 조정합니다. 또한, 기계는 다른 스캐너 및 패턴 생성기, 광학 도량형 시스템 (optical metrology system) 과 같은 특수 장비와 통합 될 수 있습니다. LISAP 3P는 반도체 업계의 까다롭고 정확한 생산 요구를 충족하기 위해 설계된, 신뢰성이 높고 견고한 기계입니다. 고급 (advanced) 기능을 결합하여 효율적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝 기능을 제공하여 정확하고 반복 가능한 생산 주기를 제공합니다.