판매용 중고 ASML C-QUAD #9070539
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ID: 9070539
Illuminator
Designed for 5-slot illuminator holder
Used on ASML Twinscan XT1900Gi
Currently in storage.
ASML C-QUAD는 반도체 리소그래피에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 칩을 극도로 미세한 해상도로 무늬 (pattern) 시킬 수 있도록 하는 반도체 제작산업 (semiconductor fabrication industry) 전반에 걸쳐 사용되는 중요한 도구다. C-QUAD는 고급 옵티컬 기술, 펌웨어, 소프트웨어, 그리고 특수한 맞춤형 구성 요소 제품군을 갖추고 있습니다. ASML C-QUAD는 Stepper Alignment Equipment (SAS) 를 사용하여 뛰어난 정확도로 photoresist 레이어를 노출 할 수 있습니다. 스테퍼 정렬 시스템 (stepper alignment system) 은 레티클과 웨이퍼 사이의 fiducials라는 패턴 정렬 부위를 대조하여 모든 노출에 대한 정확한 정렬을 보장합니다. 또한, 고급 옵티컬 디자인은 각 노출의 이미징 품질이 높게 유지되도록 합니다. 웨이퍼 스테퍼 자체에는 여러 가지 주요 구성 요소가 포함됩니다. 위치 정밀도를 유지하기 위해 레이저 간섭계 (laser interferometer) 장치가 포함되며, 스테퍼 하드웨어에는 작동 조건에 대한 동작 및 온도를 감지하는 센서가 있습니다. C-QUAD에는 대용량 자동 초점 기계와 최적화 된 레티클 라이브러리가 있습니다. 레티클 (reticle) 라이브러리는 노출에 사용되는 계획된 패턴의 고해상도 정보를 저장합니다. ASML C-QUAD (ASML C-QUAD) 는 많은 레티클 간에 저장 및 전환이 가능하며, 레티클을 교체하지 않고도 다른 패턴을 노출시킬 수 있습니다. C-QUAD에는 최적의 성능을 위해 특수 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 여러 가지 "프로토콜 '이" 스테퍼' 전체 의 정확 한 작동 을 보장 하는 데 사용 된다. 이러한 프로토콜은 데이터 액세스에서 사전 노출 조정 및 정렬에 이르기까지 다양합니다. 또한, 소프트웨어에는 통신 프로토콜이 포함되어 있어 레티클 라이브러리 (reticle library) 및 기타 외부 데이터 소스와 데이터를 동기화할 수 있습니다. ASML C-QUAD의 고급 기능은 많은 반도체 제작 시설에 이상적인 선택입니다. 매우 훌륭한 해상도로 고품질 반도체 칩을 생산하기 위한 신뢰할 수 있는 솔루션입니다. 다양한 맞춤형 구성요소, 고급 소프트웨어, 하드웨어를 갖춘 C-QUAD는 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다.
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