판매용 중고 ASML AT760D #9298747

ASML AT760D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조에 사용되는 최첨단 기계입니다. "스테핑 (stepping)" 및 "스캐닝 (scanning)" 단계에서 UV 광원에 의해 생성 된 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 빛으로 노출시키기 위해 제한된 공간 내에서 반도체 웨이퍼를 이동하도록 설계되었습니다. AT760D는 다양한 웨이퍼 직경 (150, 200, 300 mm) 을 처리 할 수 있으며, 다양한 기능을 갖추고 있어 대부분의 스테퍼 작업을 유기적이고 자동으로 수행 할 수 있습니다. 스테퍼는 딥 자외선 (DUV), 익스트림 자외선 (EUV) 및 익스트림 자외선 나노 리소그래피 (Nano-EUL) 와 같은 다양한 리소그래피 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 또한, ASML AT760D는 여러 레이어의 레티클을 처리 할 수 있으므로 다중 패턴 응용 프로그램에 적합합니다. AT760D는 고유한 닫힌 루프 스캐너 위치 제어 장비를 사용하여 정확한 패턴 배치를 보장합니다. 이 시스템은 초고정밀도 선형 스케일을 활용하여 실시간 웨이퍼 이동 및 위치를 정확하게 측정합니다. 또한, 이 장치는 패턴 등록 오류 및 중복을 최소화하면서 폐기물 생산을 줄입니다. ASML AT760D는 고급 중첩 스테퍼 머신을 통해 패턴 배치를 최적화하도록 설계되었습니다. "웨이퍼 (wafer) '가 무대를 가로질러 이동함에 따라 그 위치는 실시간으로 추적되고 동작은 동적으로 보정되어 정확한 패턴 배치가 보장됩니다. 이는 스테퍼 작업 시간을 최소화하고 처리율을 증가시킵니다. AT760D는 최고의 공구 처리량과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 여러 개의 인접한 웨이퍼 스테이지로 최적화된 진공 급지 에셋을 활용하여 정렬 시간을 줄이고 배치 정확도를 향상시킵니다. 또한 스테퍼의 신뢰성이 높은 모션 컨트롤 시스템은 탁월한 일괄 처리 (batch-to-batch) 정확성과 웨이퍼 간 일관성을 보장합니다. ASML AT760D는 또한 생산 요구 사항 (예: 공기 마비 및 열 어닐링 기능) 을 충족시키는 다양한 옵션을 지원합니다. 또한, 스테퍼는 정확한 전송과 입자 생성을 줄이기 위해 고급 진공 (advanced vacuum) 모델을 갖추고 있습니다. AT760D는 고급 기능 외에도 먼지 방지 (dust-proof) 구성, 향상된 밀봉 및 정적 (anti-static) 디자인과 같은 향상된 환경 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 스테퍼가 효율적이고 안정적으로 작동하고 안전 규정 및 표준을 충족하도록 합니다. 전반적으로 ASML AT760D 웨이퍼 스테퍼는 리소그래피 응용 프로그램을위한 고급적이고 안정적인 기계입니다. 정확한 클로즈드 루프 (closed-loop) 스캔 장비, 최적화된 피드 시스템, 향상된 옵션 및 환경 기능을 통해 가장 까다로운 반도체 생산 요구를 충족할 수 있습니다.