판매용 중고 ASML AT400S #293638713
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ID: 293638713
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
i-Line scanner, 12", parts system
Wavelength: 365 nm
(2) XCWC
Racks:
MCWC
LCWC
MDC
AA LMA
Airmount
AA
CT
MO
MI
IPDR
RH
PFU
RS
WS
MO
MI
WH
RS Balance mass
RS Long stoke-Y
WS Short stroke-Z
RS Short stroke-XZ
WS E-side long stroke
WS Balance mass
WS Short stroke horizontal
Bottom module
2001 vintage.
ASML AT400S Wafer Stepper는 패턴을 반도체 웨이퍼로 전송하는 데 사용되는 장치입니다. 그것 은 매우 정확 한 도구 로서, 사진 "마스크 '위 에 있는 회로 를" 웨이퍼' 위 에 정확 하게 무늬 로 만들 수 있다. AT400S Wafer Stepper는 스테이지, 옵티컬 헤드 및 시스템 컨트롤러로 구성됩니다. 스테이지는 최대 0.25 미크론 수준의 정확도로 x 축과 y 축 모두를 따라 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 또한, 스테이지에는 온도를 조절 할 수있는 난방 요소와 열 플레이트 (thermal plate) 가 내장되어 있습니다. 이를 통해 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. 광학 "헤드 '에는" 마스크' 에서 "웨이퍼 '에 이르는 광선 을 맞추는 환원" 렌즈' 장치 가 들어 있다. 그것은 Rh 유형의 마스크를 사용하여 웨이퍼를 에칭하기위한 빛을 생성합니다. 그 광선 은 "웨이퍼 '의 표면 에 정확 하게 맞추어" 패턴' 을 왜곡 하지 않고 정확 하게 옮긴다. 시스템 컨트롤러가 시스템의 핵심입니다. 기계 의 여러 부분 ("스테이지 ', 광학" 헤드', "빔 '의 강도 와 초점, 노출 시간 등) 을 감시 하고 제어 할 책임 이 있다. 또한 각 회로의 필수 매개변수를 저장하여 기계가 각 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. ASML AT400S 웨이퍼 스테퍼 (ASML AT400S Wafer Stepper) 는 패턴을 웨이퍼로 전송하는 데 가장 높은 정밀도와 정밀도를 제공하도록 특별히 설계되었습니다. '신뢰성 있고 사용이 간편한' 툴로 '오류 위험을 최소화하고' 최고의 표준을 충족하는 '완성된 제품' 을 보장할 수 있습니다.
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