판매용 중고 ASML AT400S #293625709

ASML AT400S는 집적 회로의 패턴화에 사용되는 사진 해설을위한 고급, 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 웨이퍼에 서브미크론 (Submicron) 구조를 만드는 특수하고 정확도가 높은 도구입니다. 거의 자외선, 가시광선 또는 적외선 조명, 마스크를 사용하여 패턴을 표면에 전달합니다. AT400S에는 700mm, 300mm 필드 크기 및 고급 Theta 포지셔닝 단계가 있습니다. 이 장비의 해상도는 5-6nm 선형 및 12nm 회전 정확도입니다. 수치 조리개는 0.55 (으) 로 매우 엄격한 공차를 가진 고해상도 IC 작업을 할 수 있습니다. ASML AT400S 는 이미지 인식, 동작 제어 시스템, 자동 배치 처리 등 다양한 자동화 기능을 통해 설계되었습니다. 또한 레시피를 저장하고 리콜하는 기능 (예: 패턴 디자이너) 을 통해 시스템을 신속하게 설정하고 실행할 수 있습니다. AT400S는 사용자 친화적이며, 그래픽 사용자 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 갖추고 있습니다. 기본 제공되는 추적 (tracking) 및 정렬 장치 (alignment unit) 를 사용하여 각 노출 주기에 대한 패턴 설정 및 정렬 매개변수를 추적하여 자동으로 등록 정확도를 유지합니다. 이를 통해 반복 가능하고 예측 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. ASML AT400S에는 웨이퍼 스캐닝 머신 (wafer scanning machine) 이 장착되어 있어 결함을위한 전체 웨이퍼를 스캔할 수 있습니다. 이 도구는 결함 있는 부분을 검색, 거부, 수율 향상, 시간 절약 등의 기능을 갖추고 있습니다. AT400S의 생산 능력은 비교할 수 없으며, 자산은 시간당 최대 60,000 대 (60,000 대) 의 속도로 작동 할 수 있습니다. 이를 통해 제조업체는 생산 효율성을 높이고, 비용을 절감하고, 제품의 품질을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로, ASML AT400S는 매우 정확한 패턴과 매우 엄격한 공차를 가진 집적 회로를 만들도록 설계된 정교하고 정밀한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 모델은 수많은 자동화 기능, 직관적인 제어 기능, 생산속도 (생산속도) 를 바탕으로 설계되었습니다.