판매용 중고 ASML AT 850T #9293665

ASML AT 850T는 반도체 집적 회로 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "포토레지스트 '물질 로 입힌" 웨이퍼' 에 원하는 "패턴 '을 노출 시키는 장치 이다. 따라서 집적 회로를 정확하고 정확하게 제작할 수 있습니다. AT 850T는 투영 유형의 이미징 장비를 사용하여 작동하는 고급 스테퍼입니다. 마스터 포토 마스크 (master photomask) 에서 노출을 시작하고 기판에 필요한 이미지를 생성합니다. 광학 투영 시스템 (optical projection system) 을 사용하여 기판에 원하는 패턴의 이미지를 생성합니다. 스테퍼의 해상도는 0.33 마이크로 미터 (micrometer) 이며, 고급 및 매우 복잡한 집적 회로의 생산에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 또한 최대 8 인치의 노출 면적을 가진 매우 큰 웨이퍼를 생산하도록 설계되었습니다. ASML AT 850T (ASML AT 850T) 에는 다양한 기능과 옵션이 제공되므로 노출 프로세스를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 예를 들어, 기판 바이어스 설정 (Substrate bias settings) 옵션을 사용하면 전압 설정을 조정하여 원하는 패턴이 기판에 표시되도록 할 수 있습니다. 또한 스테퍼에는 마스킹 프로세스를 원하는 패턴과 완벽하게 정렬하여 정확한 결과를 얻을 수 있는 정렬 기계 (Alignment Machine) 가 포함되어 있습니다. 스테퍼에는 각 레이어에 대한 최적의 노출 용량을 프로그래밍하는 기능도 있습니다. 스테퍼는 또한 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 도구를 갖추고 있으며, 원본 이미지와 투영 된 이미지 사이의 정확한 광학 정렬을 허용하고 오류 및 수차 가능성을 줄입니다. 또한 스테퍼에는 자체 진단 에셋 (self diagnostic asset) 이 포함되어 있어 스테퍼의 기능을 자동으로 검사하여 원활한 작동을 보장합니다. 전체적으로 AT 850T는 집적 회로 생산에 훌륭한 결과를 제공하는 고급형 웨이퍼 스테퍼입니다. 광범위한 기능과 옵션을 통해 중소기업과 대규모 생산에 이상적인 스텝퍼 (stepper) 를 구축할 수 있습니다. 반도체 집적회로 생산에 대한 산업표준으로, 국내총생산 (GDP) 에서 사용되고 있다.