판매용 중고 ASML AT-850D #9269679

ASML AT-850D
제조사
ASML
모델
AT-850D
ID: 9269679
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Stepper, 12" SMIF SECE Reticle size: 6" Wafer type: Notch Left inline flow FOUP Left type MK V Type: RH Library BMU Type: Standard Light source: CYMER ELS-7600 Stage: Scan speed: 320 mm/sec Pin chuck 2004 vintage.
ASML AT-850D는 반도체 장치 생산을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 도구는 고해상도 프로세스와 정확도를 달성할 때 탁월한 성능을 제공합니다. 이 기계의 크기는 컴팩트하며 직경 8 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 해상도는 최대 5 도 (m) 입니다. 고정밀 렌즈와 레이저 기반 자동 초점 장비를 갖춘 2 개의 고급 석판화 (advanced lithography) 시스템이 장착되어 있습니다. ASML AT850D는 고급 패턴 배치 시스템 (Advanced Pattern Placement System) 덕분에 뛰어난 이미징 및 패턴 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 고급 마스크 정렬기, 광학 정렬, 자동 에지 감지 (Automatic Edge Detection) 및 뛰어난 화질과 정확도를 제공하는 고급 조명 기술을 통합합니다. 이 기계에는 빠르고 정확한 결함 감지 및 자동 패턴 배치 (automated pattern placement) 를 위해 설계된 고성능 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 더욱이, 이 기계는 여러 패턴 인식 시뮬레이션을 수행할 수 있으므로 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 여러 개의 다른 레이어를 효율적으로 생산할 수 있습니다. 안전과 관련하여 AT 850D는 안전 호환 자동 조정기 도구 및 기압 제어를 통해 안전한 작동을 제공합니다. 또한 스테퍼의 안전하지 않은 작동 조건을 방지하는 민감한 과부하 보호 (overload protection) 를 갖춘 정교한 모터 디자인이 특징입니다. 이러한 기능 외에도, 기계에는 내부 검사 장치, 렌즈 클리닝 스테이션, 웨이퍼 로더/언로더, 칠러 에셋, 컨베이어 모델 등과 같은 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이는 웨이퍼 스테퍼의 효율적이고 안전한 작동을 보장합니다. 결론적으로, ASML AT 850D는 반도체 장치의 고해상도 생산을 추구하는 사람들에게 완벽한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 석판화 (lithography) 및 이미징 기술, 철저한 안전 기능, 뛰어난 결과를 제공하는 다양한 액세서리를 갖추고 있습니다.
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