판매용 중고 ASML AT-850D #293822110
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ASML AT-850D (ASML AT-850D) 는 최신 웨이퍼 생산 요구 사항을 충족하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 리소그래피 장비는 실리콘, 갈륨 비소, 석영, 다결정 다이아몬드 등을 포함한 다양한 웨이퍼 기판에 대한 고정밀 광학 정렬 및 이미징 기능을 제공합니다. ASML AT850D는 0.25 미크론 정도의 작은 기능을 생산할 수 있으며, 최대 6 인치 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템에는 고해상도 AMT (Active Mirror Technology) 프로파일 모니터, 숫자 조리개가 0.55 인 특수 스테퍼 렌즈, 마이크로프로세서가 장착된 디지털 메모리 컨트롤러를 포함한 해당 드라이브 기술이 장착되어 있습니다. 또한 0.25 ~ 20 미크론의 빔 범위 내에서 초점과 노출을 자동으로 최적화하는 독특한 "스캔 및 일치 (Scan and Match)" 기능이 장착되어 있습니다. AT 850D는 정확한 장치 배치 및 초점 정확도가 가능한 완전 자동화 된 3 축 광 정렬 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 고급 사용자 인터페이스를 자랑하며, 단순하고 직관적인 작동을 가능하게 합니다. 또한 AT 850 D (AT 850 D) 는 스테퍼 챔버의 고급 온도 제어 및 모니터링을 제공하여 확장 실행 중 초점 안정성을 향상시킵니다. ASML AT 850 D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치, 광자, 데이터 저장 등과 같은 고급 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 이 툴은 이미지 품질, 정확하고 안정적인 처리 기능, 그리고 고객의 특정한 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있는 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 제공합니다. AT-850D를 사용하면 낮은 TCO (총소유비용) 로 높은 충실도 결과를 얻을 수 있습니다.
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