판매용 중고 ASML AT-850D #293597577

ASML AT-850D는 광학 석판화를위한 4축 정밀 렌즈 정렬 장비입니다. IC (Integrated Circuit) 제품을 생산하도록 설계된 완전 자동화 된 깊은 자외선 (DUV) 157nm 침수 석판 시스템입니다. 이 장치는 최고의 프로세스 제어 및 TCO (소유 비용) 를 제공하기 위해 최첨단 반도체 업계의 요구를 충족시키기 위해 설계되었습니다. 이 스테퍼는 뛰어난 처리량과 성능, 그리고 생산 석판화가들에게 귀중한 기능을 제공합니다. ASML AT850D에는 최적의 성능을 제공하는 많은 기능이 있습니다. 넓은 작업 구역이 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 기판 이동이 쉽습니다. 고급 패턴 인식 및 석판화 작업을 제공하는 고급 소프트웨어 (Advanced Software Suite) 가 장착되어 있습니다. 또한, 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기능을 통해 빠른 패턴 복제를 가능하게 하여 리소그래피 프로세스의 속도를 크게 높일 수 있습니다. AT 850D에는 XY CCD 도량형 도구에 정밀 이동 테이블이 연결된 독특한 4 축 기계가 있습니다. 이 XY CCD 도량형 자산은 오버레이 측정 및 결함 검사에 사용됩니다. 고정밀도 렌즈 탐색과 정렬을 통해, 스테퍼는 웨이퍼를 다시 정렬하거나 다시 굽지 않고도 다른 패턴 필드 사이의 좌표를 정확하게 이동할 수 있습니다. 이 기능은 웨이퍼 균일성을 향상시키는 데 도움이되며, 이는 반도체 제작 과정에서 매우 중요합니다. AT-850D에는 통합 진공로드 잠금 모델 (vacuum load-lock model) 이 있으며, 이는 ASML 리소그래피 작업 흐름에 완전히 통합 된 웨이퍼 전송 로봇과 스테퍼 사이의 자동화된 보안 인터페이스를 제공합니다. 또한 HIPAC (High-Pressure Suberration Correction) 장비를 사용하여 광학 왜곡을 줄여 작은 기능보다 고정밀 패턴을 만들 수 있습니다. ASML AT 850D는 또한 다양한 소프트웨어 프로그램 제품군 덕분에 프로세스 적응 및 제어를 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 예를 들어, 고급 석판화 시뮬레이션 기능이 있으므로 프로세스 엔지니어가 노출을 시뮬레이션하여 최적의 설정을 결정할 수 있습니다. 또한 stepper 및 관련 프로세스 도구 간에 실시간 데이터 공유가 가능합니다. 전체적으로 AT 850 D는 신뢰할 수 있고 고성능 웨이퍼 스테퍼로 IC 제작을위한 최고의 리소그래피를 제공합니다. 광학 리소그래피 (Optical Lithography) 를 빠르고 안전하게, 정확하게 생산하고 관리할 수 있습니다. 이러한 이유로, 그리고 더 많은 이유로, ASML AT 850 D는 반도체 산업에서 리소그래피에 대해 널리 신뢰되는 기계입니다.