판매용 중고 ASML AT-850C #9404356

ASML AT-850C는 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 스테퍼입니다. 집적 회로, 메모리 장치 등 다양한 장치를 생산할 수 있다. ASML AT850C는 큰 조리개, 고해상도, 높은 처리량을 갖춘 고급 스테퍼입니다. I 라인 스테퍼이며 KrF 리소그래피와 함께 사용할 수도 있습니다. AT: 850C는 매우 정밀한 렌즈 디자인과 고급 다중 축 정렬 장비를 결합하여 장치 제작을 위해 고해상도 (high resolution) 및 CD (accurate critical dimension) 정렬을 달성할 수 있습니다. 기계는 또한 긴 도프 (DOF) (Long depth of focus) 를 가지고 있으며, 이를 통해 최소한의 기울기 오류로 장치의 모든 레이어를 이미징할 수 있습니다. 따라서 ASML AT: 850C는 높은 수율의 고성능 장치를 생산하는 데 적합합니다. AT-850C (AT-850C) 는 고온 진공 스테퍼 (vacuum stepper) 인데, 이를 통해 사용자는 안정적인 환경에서 기계를 작동시킬 수 있으며, 프로세스 제어가 적합하므로 일관된 이미징 성능을 제공합니다. 또한 석판화 성능 및 노출 정확도에 필요한 매우 균일 한 라이트 빔 (light beam) 관리 시스템을 갖추고 있습니다. ASML AT 850C (ASML AT 850C) 는 자동화된 정렬 및 노출, 데이터 관리 기능을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 제품군입니다. 이를 통해 사용자는 변화하는 웨이퍼 (wafer) 환경에 신속하고 정확하게 조정할 수 있으며, 처리량 (throughput) 과 디바이스 (device) 수익률을 모두 최적화할 수 있습니다. 또한 다중 모드 노출 장치 (Multi-Mode Exposure Unit) 를 통해 처리량을 극대화하여 디바이스가 가능한 한 빠르고 정확하게 노출되도록 합니다. AT 850C는 장치 제작을 위한 강력한 도구입니다. 대용량 조리개, 고해상도 및 고해상도를 통해 고성능 장치를 생산할 수 있습니다. 다중 축 정렬 시스템 (Multi-Axis Alignment Machine) 및 소프트웨어 제품군은 사용자가 디바이스 노출에 대해 상세한 제어 기능을 제공하여 높은 장치 출력과 정확한 장치 이미지를 제공합니다.