판매용 중고 ASML AT-850C #9293663

ASML AT-850C는 193nm 스테퍼 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정확하고 효과적이며 일관된 석판화 결과를 낳도록 설계되었습니다. ASML AT850C는 EUV 비즈니스 응용 프로그램, 마스크 메이킹 산업, 리소그래피 응용 프로그램 등 다양한 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. AT: 850C 웨이퍼 스테퍼는 리토 그래피를 달성하기 위해 최소 숫자 조리개가 0.76, 최대 전체 숫자 조리개가 0.80으로 설계되었습니다. 교대로 편광 된 회절 광학 원소를 기반으로하는 조명기 (illuminator) 장비는 양극화 된 조명을 통한 편광 의존적 조명을 통해 일관된 패턴 충실도를 가능하게한다. 또한 "스테퍼 '는 고도 의 정밀 한 위치 장치 를 갖추었는데, 이 장치 는" 웨이퍼' 를 정밀도 1 "미크론 '의 광학 부품 에 맞추어 정확 한" 스테퍼' 정렬 과 초점 성능 을 달성 하도록 설계 하였다. ASML AT 850C (ASML AT 850C) 는 스캐닝 장치의 히스테리시를 제거하도록 설계된 하이브리드 자기 및 선형 직접 드라이브 스캐닝 시스템으로 구동됩니다. 또한 빠른 스캐닝 속도 (fast scanning speed) 와 지속적인 가속 및 감속 (deceleration) 을 지원하여 샘플에서 지속적으로 예리한 이미징 결과를 제공합니다. 즉, 원치 않는 진동을 줄이고 꾸준한 이미징 결과를 제공하도록 설계된 고성능 공명 서브시스템 (HPM) 으로 구동됩니다. 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 듀얼 트랙 마스크 정렬기, 향상된 4 사분면 필드 오버랩 옵션, 향상된 이미징 결과, 향상된 멀티 트랙 자동 초점 교정, 향상된 광학 머신 드 윙, 자동 스테퍼 청결 검사, 향상된 조명 안정성. 스테퍼에는 또한 정확도를 높이기 위해 여러 노출물을 정렬하도록 설계된 페더링 정렬 (feathering alignment) 기능과 잘못된 정렬을 방지하는 알고리즘 지원 자체 레벨 (self-leveling) 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, AT850C에는 레이저 빔을 지속적으로 모니터링하여 안전성을 보장하도록 설계된 눈 안전 (eye-safe) 폐쇄 루프 (closed-loop) 레이저가 장착되어 있습니다. 또한, 스테퍼에는 대비 감지, 추가 창의적인 조명 패턴, 향상된 조명 대칭 옵션 (enhanced illumination symmetry option) 과 같은 맞춤형 비전 시스템도 포함됩니다. 전반적으로 ASML AT: 850C (ASML AT: 850C) 는 매우 고급적이고 정교한 웨이퍼 스테퍼로, 광범위한 어플리케이션에 대해 일관되고, 정확하며, 정확한 리소그래피 결과를 제공하도록 설계되었습니다.