판매용 중고 ASML AT-850C #9269680
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ID: 9269680
Stepper, 12"
SMIF
SECE I / II
Reticle size: 6"
Wafer type: Notch
Left inline flow
FOUP Left type: WH
MK V Type: RH Library
PPD Type: PPD2 + IRL
BMU Type: Standard
Light source: CYMER
Scan speed: 320 mm/sec
Chuck
2004 vintage.
ASML AT-850C (ASML AT-850C) 는 반도체 산업의 최신 반도체 웨이퍼에서 미세한 패턴을 정확하고 정확하게 정의하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. "웨이퍼 '에 증착 된 얇은" 포토레지스트' 층 에 빛 을 투영 함 으로써 집적 회로 에 사용 되는 "실라테스 '성분 의 기초 를 이루는 정밀 한" 패턴' 을 만들 수 있다. ASML AT850C (ASML AT850C) 는 완전 자동화 스캐너 (scanner) 로, 한 번의 회전에서 전체 웨이퍼 필드를 스캔하여 이미지를 한 번의 웨이퍼 전체 표면 영역에 투영할 수 있습니다. 이를 통해 효율적이고 일관된 사진 해설이 가능합니다. 이 시스템은 350mm (stage size) 를 가지고 있으며, 이를 통해 여러 개의 서로 다른 웨이퍼를 한 번에 스테이지에 배치하여 여러 처리를 실행할 수 있습니다. AT: 850C는 더 높은 처리량을 위한 고급 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 통합 된 강력한 Litho Inspector가 포함되며, 이는 프로덕션 실행 중 패턴, 결함 및 기타 석판 문제를 모니터링할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 가장 작은 기능에도 매우 엄격한 정렬 제어를 제공하는 고급 단계가 있습니다. 스테이지는 또한 두 개의 서로 다른 회전 속도 (rotation speed) 로 프로세스를 수행할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 여러 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. ASML AT 850C는 또한 LDI (Laser Direct Imaging) 및 PI (Photolithography Imaging) 를 포함한 여러 가지 조명 방법을 갖추고 있습니다. 이 이미징 방법 중 하나를 사용하여 웨이퍼의 다른 영역을 다른 수준의 광학 방사선 (optical radiation) 에 노출시켜 고해상도 (high-resolution) 이미지를 생성할 수 있습니다. 0.35 미크론만큼 작은 기능을 해결할 수 있으므로 AT 850 C는 매우 복잡하고 상세한 실리콘 부품을 생성 할 수 있습니다. ASML AT 850 C에는 고급 동기식/비동기식 동작 제어 기능 및 동적 (dynamics) 이 있어 스캔 속도와 반복 속도가 매우 빠릅니다. 이 시스템은 모듈식 플랫폼 (modular platform) 을 기반으로 합니다. 즉, 특정 애플리케이션과 프로세스에 맞게 조정할 수 있으므로 사용자에게 완벽한 유연성을 제공합니다. 마지막으로, AT850C는 매우 견고하고, 견고하며, 신뢰할 수있는 스테퍼로, 항상 최고 성능으로 실행되도록 지속적으로 엄격한 품질 보증 테스트를 거칩니다. 첨단 기능, 생산능력 등을 갖춘 이 제품은 현재 시장에서 가장 기술적으로 진보된 웨이퍼 스텝퍼 (Wafer Stepper) 중 하나입니다.
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