판매용 중고 ASML AT-850C #9235474
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ASML AT-850C는 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 일반적으로 반도체 칩을 만들기 위해 고정밀 리소그래피와 같은 응용 분야에 사용됩니다. ASML AT850C의 디자인은 원하는 패턴에 해당하는 렌즈 (lens) 구성을 사용하는 일관되지 않은 조명 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 자동 정렬 장치, 고해상도 이미징 광학 장치, 정확한 다중 영역 스테이지 및 전용 웨이퍼 홀더로 구성됩니다. AT: 850C의 자동 정렬 장치 (Automated Alignment Unit) 를 사용하면 장치 패턴화에 대한 실시간 정렬 검증을 수행할 수 있습니다. 이것은 위치 이동, 회전 오프셋, 왜곡, 강도 등 다양한 매개변수를 감지하여 수행됩니다. 또한 ASML AT 850 C는 높은 정확도와 처리량을 유지하면서 최대 8 개의 독립 패턴을 병렬 처리 할 수 있습니다. AT-850C의 고해상도 이미징 광학은 원하는 패턴을 매우 정확하게 이미징할 수 있습니다. "렌즈 '구성 은 높은 정확도 로 유지 되며, 변화 하는 조건 에 맞게 신속 히 조정 할 수 있다. 이 기능을 사용하면 기동성 (maneuverability) 과 낮은 사진 리토 그래피 (photolithography) 마진을 허용하여 생산량이 증가합니다. AT 850 C의 웨이퍼 단계는 최대 0.1micron의 x 해상도 및 25nm까지 z 해상도를 제공합니다. 이 매우 정확한 단계는 각 영역의 작고, 해결된 이미징 영역을 허용합니다. 또한 장치 구성 요소를 전체적으로 축소 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테이지에는 웨이퍼의 정확한 움직임을 위해 크고, 평평하고, 부드러운 테이블이 있습니다. ASML AT: 850C에는 다양한 웨이퍼 크기에 대한 빠르고 쉬운 교환을 제공하는 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 도 장착되어 있습니다. 이 웨이퍼 홀더는 보안 탭 머신 (secure tab machine) 을 제공하여 프로덕션 프로세스를 통해 웨이퍼를 정확하게 진행합니다. 또한 이 장치는 기울기 (tilt) 및 기울기 (tilt) 보정을 위한 각도 베이스와 통합됩니다. 틸트 베이스는 프로세스 효율성을 높이기 위해 1 아크의 정확도로 작동합니다. 전체적으로 AT 850C는 정확한 옵틱과 스태이징 기능으로 설계된 다목적 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 비용 효율적인 반도체 칩 생산을위한 고정밀 환경을 제공합니다. ASML AT 850C에는 다양한 석판화 응용 프로그램에 적합한 최신 디자인 도구 및 기능이 있습니다.
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