판매용 중고 ASML AT-850C #293606207

제조사
ASML
모델
AT-850C
ID: 293606207
System CYMER ELS-7600.
ASML AT-850C (ASML AT-850C) 는 생산성과 생산성이 높은 최신 장치를 빠르고 정확하게 제조 및 검사하도록 설계된 매우 정확하고 혁신적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 엑시머 레이저, 스테퍼/알리너 및 스캐너가 장착 된 고급 photolithography 장비입니다. 이 시스템은 신뢰성이 높으며 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 여러 개의 검출기, 센서, 정렬 장치 (Alignment Device) 로 구성되어 최종 결과물이 고품질인지 확인합니다. ASML AT850C는 고급 엑시머 레이저 빔 전달 장치를 갖추고 있습니다. 엑시머 레이저 (excimer laser) 는 높은 수준의 정확도에 도달하여 미세 (fine) 기능을 패턴화하는 데 적합한 고도로 제어되고 집중된 광원을 제공합니다. 레이저는 회절 제한 레이저 성능과, 정확하고 반복 가능한 이미징을 위한 고급 레이저 컨트롤러를 자랑합니다. AT: 850C (Motorized Optical and Mechanical Stage) 의 전동 광학 및 기계식 단계는 전체 웨이퍼 표면에 가장 정확하게 정렬되고 초점을 맞춥니다. 다양한 생산 공정을 수용할 수 있는 다양한 "렌즈 '와 광학" 필터' 가 있다. 이 기계에는 오류를 신속하게 식별하고, 처리량을 향상시키고, 오류를 최소화할 수 있는 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 및 비교 도구 (comparison tool) 가 포함되어 있습니다. 최고 품질의 생산의 경우, 이 도구에는 스캐너도 있습니다. "스캐너 '는 고도 의 해상도 와 정확도 로" 웨이퍼' 를 검사 하기 위하여 고급 광학 과 전자 제품 을 사용 한다. 피쳐의 크기, 거리, 각도 등을 정확하게 측정, 기록할 수 있으며, 정밀도가 매우 높습니다. ASML AT: 850C (ASML AT: 850C) 는 사용이 간편하며, 다양한 사용자 친화적 기능을 통해 원활하고 효율적으로 작동할 수 있습니다. 강력한 컴퓨터 소프트웨어로, 사용자가 자산을 사용자 정의하고 특정 요구에 맞게 최적화할 수 있습니다 (영문). 포함된 교정 소프트웨어는 뛰어난 정확도로 고정밀 결과를 생성합니다. AT 850C는 탁월한 성능을 제공하는 것 외에도, 작동 및 유지 관리가 안전합니다. 이 모델에는 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 방사선 실드 (Radiation Shield) 가 포함되어 있어 유해한 방사선으로부터 환경뿐만 아니라 운영자를 보호합니다. 모든 장비가 제대로 작동하고, 문제를 신속하게 파악하고, 해결할 수 있는 예방적 유지 관리 (preventive maintenance) 프로그램을 통해 장비가 잘 유지됩니다.
아직 리뷰가 없습니다