판매용 중고 ASML AT 1250D #9241299

ASML AT 1250D 웨이퍼 스테퍼 (ASML AT 1250D wafer stepper) 는 반도체 장치의 제작에서 사진 해설법 과정에서 실리콘 웨이퍼에 포토 esist를 노출시키기 위해 설계된 시스템입니다. 공학자와 기술자가 고급 반도체 장치를 정확하고 반복적으로 제작할 수 있도록, 고정밀, 레이저 간섭계 제어 스캐너 (high-precision, laser-interferometer control scanner) 와 종합적인 도구 및 설정을 함께 사용합니다. 이 플랫폼은 다양한 구성 요소 서브시스템을 활용하여 이러한 수준의 성능과 정교함을 실현합니다. 자동 작동을 위해 웨이퍼 스테퍼는 X, Y, Theta, Z, Accel 및 Focus를 포함하여 최대 8 개의 동력 축을 사용하여 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 웨이퍼 스테퍼의 광학 서브 시스템은 통합 렌즈 (최대 8 개) 와 구형 간트리 (gantry) 에 장착 된 이동식 미러 (mirror) 와 레이저 다이오드 및 사진 다이오드 배열을 사용합니다. 이러한 구성 요소와 스테퍼의 간섭계 제어 스캐너의 조합으로 엔지니어는 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 대한 광사 (photoresisting) 를 정확하고 일관되게 패턴 화 할 수 있습니다. 자동화된 모션 및 광 하위 시스템 외에도, 이 플랫폼에는 엔지니어 및 엔지니어가 직관적이고 효율적으로 장치와 상호 작용할 수있는 운영자 콘솔 역할을하는 정교한 HMI (Human Machine Interface) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. HMI에는 다양한 버튼, 여러 텍스트 기반 디스플레이, 바로 가기 키, 다양한 레시피 및 절차에 대해 미리 프로그래밍된 설정이 있는 제어판이 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 와 다양한 주변 장치 (예: 웨이퍼의 정밀 처리를 위한 로봇 암, 더 정교한 프로세스 작업을 위한 비전 시스템) 를 통합합니다. 마지막으로, 이 시스템에는 광전도 (photolithography) 과정의 특성과 복잡성에 따라 이러한 매개변수가 크게 달라질 수 있으므로, 장치가 내부 온도, 압력 수준, 유속 (flow rate) 을 모니터링하고 조절할 수있는 많은 환경 센서가 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능을 결합하면 ASML AT-1250D 웨이퍼 스테퍼가 집적 회로 및 기타 마이크로 전자 부품 생산에서 탁월한 성능을 제공합니다.