판매용 중고 ASML AT 1200B #293602555

ASML AT 1200B는 반도체 제조에서 리소그래피에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 현대 IC에서 나노 스케일 (nanoscale) 구조를 패턴화하는 데 필수적인 높은 수준의 정확성과 재현성을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼는 몇 가지 뚜렷한 부분으로 구성됩니다. 광학 모듈에는 레티클 오브젝티브 렌즈 (reticle objective lens) 를 포함하여 여러 가지 렌즈가 포함되어 있으며, 이 렌즈는 포토 esist 코팅 웨이퍼에 이미징 라이트를 중점을 둡니다. 레티클 (reticle) 은 레티클 홀더 (reticle holder) 에 보관되어 웨이퍼 위에 정확한 패턴으로 스캔됩니다. 웨이퍼 스테이지는 이미징 광학 아래의 웨이퍼를 변환하고 회전하는 데 사용됩니다. 또한 "스테퍼 '는 움직 일 수 있는" 제논 램프' 를 갖춘 조명계 를 가지고 있어서 광전자 를 폭로 하는 데 사용 되는 자외선 "에너지 '를 정확 하게 조정 할 수 있다. 자동 정렬 및 패턴 처리 모니터링을 위해 카메라 시스템 (Camera System) 도 포함되어 있습니다. 스테퍼는 컴퓨터화된 컨트롤러 모듈 (Computerized Controller Module) 에서 작동합니다. 여기에는 스테퍼의 프로세스 매개변수를 설정하고 관리할 수 있는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이를 통해 새로운 fabric 또는 프로세스 설정에 적응하는 데 있어 높은 수준의 정밀도, 반복성, 유연성을 얻을 수 있습니다. 또한 스티퍼 (stepper) 에는 여러 개의 내장된 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있어 구성 요소 또는 노출이 제대로 작동하고 손상되지 않도록 합니다. 스텝퍼 (stepper) 의 모듈식 설계는 정확성과 반복성 외에도 설치 및 유지 보수가 용이하며, 더 빠르고 효과적인 수리를 위한 별도의 전기/기계 부품 (electrical/mechanical component) 을 손쉽게 설치할 수 있습니다. 스텝퍼 (stepper) 는 고급 이미징 알고리즘 기술과 빠르고 안정적으로 웨이퍼를 패턴화하는 능력 때문에 프로덕션 설정에 이상적입니다. 전반적으로, ASML AT-1200B는 최고 수준의 리소그래피 성능을 달성하기 위해 만들어진 매우 정확하고 정교한 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정확한 나노 스케일 패턴을 생산할 수 있으며, 현대 IC 생산 프로세스에 대해 높은 수준의 속도, 정확성 및 반복 성을 제공합니다.