판매용 중고 ASML AT 1200 #9293661

ASML AT 1200은 집적 회로 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼 유형입니다. 포토리토그래피 (photolithography) 를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 에 패턴을 생성하여 집적 회로의 다양한 컴포넌트를 형성합니다. 장비는 기판을 보관하는 고정 암 (stationary arm) 과 이동 가능한 팔 (movable arm) 로 구성되며, 이 팔은 필요한 패턴을 웨이퍼로 옮기는 데 사용되는 포토 마스크 (photomask) 또는 레티클 (reticle) 을 운반합니다. ASML AT-1200 (ASML AT-1200) 은 일련의 빛에 민감한 검출기를 사용하여 레티클의 위치를 정확하게 제어하는 패턴 생성기를 사용합니다. 전체 시스템은 닫힌 루프 서보 장치 (closed loop servo unit) 에 위치하여 팔을 정확하게 이동합니다. 이를 통해 장치는 웨이퍼를 통해 레티클을 빠르게 스캔하여 이미지를 정확하게 전송할 수 있습니다. 이미지가 웨이퍼로 정확하게 전송되도록 AT 1200에는 TTL (through-the-lens-inspection) 기계가 포함되어 있습니다. 즉, 투영 도구 앞에 있는 이미징 카메라로 구성됩니다. "와퍼 '위 로" 패턴' 을 스캔 할 때 영상 "카메라 '는" 패턴' 이 정확성 을 검사 한다. 정확하지 않은 경우, 자산의 제어 소프트웨어 (control software) 의 지능을 통해 자동으로 수정됩니다. AT-1200은 행 스캔, 270도 스캔, 벡터 스캔 등 다양한 스캔 방법을 사용합니다. 회로 설계 의 복잡성 에 따라, 서로 다른 "스캐닝 '기술 을 사용 하여 최고 의" 레벨' 의 정확도 를 보장 할 것 이다. 패턴이 기판으로 정확하고 일관되게 전송되도록 ASML AT 1200 (ASML AT 1200) 에는 프로그래밍 가능한 노출 모니터와 디지털 이미지 프로세서 (digital image processor) 도 포함되어 있습니다. 다른 ASML 스테퍼와 마찬가지로 ASML AT-1200 (ASML AT-1200) 에는 기술자가 기계의 문제를 적시에 식별하고 복구하는 데 도움이 되는 다양한 진단 및 유지 관리 도구가 포함되어 있습니다. 이 모델은 또한 수동 (manual) 에서 완전 자동 웨이퍼 처리 (fully automated wafer processing) 에 이르기까지 다양한 자동화 수준을 제공합니다. 전체적으로 AT 1200 (AT 1200) 은 제조업체가 집적 회로 설계를 위해 다양한 스캔 및 이미징 옵션을 제공하는 고급 및 다용도 웨이퍼 스테퍼입니다. 폐쇄 된 루프 서보 장비, TTL 시스템 및 프로그래밍 가능한 노출 모니터는 기판에 대한 패턴을 정확하고 일관되게 전송합니다. 이 장치는 또한 기계의 작동 상태를 최대로 유지하기 위해 다양한 유지 보수 (maintenance) 및 진단 (diagnostic) 도구를 제공합니다. 이러한 모든 기능을 통해 AT-1200은 집적 회로 제조에 이상적인 기계입니다.