판매용 중고 ASML AT-1150C #9412396

ASML AT-1150C는 반도체 산업의 리소그래피에 사용되는 고급 노출 도구입니다. 이 제품은 고속, 높은 처리량, 낮은 소유 비용 (TCO) 을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. ASML AT 1150C는 고급 옵틱, 안정적이고 정확한 검사 장비, 자동화된 무인 작동을위한 독특한 웨이퍼 처리 시스템을 사용합니다. AT: 1150C는 광학 장치, 검사기 및 웨이퍼 처리 도구의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광학 자산은 펄스 스프레이 스캐닝 모델과 함께 6.0mm 파장 수은-인-증기 노출 소스를 사용합니다. 이는 정밀도 1.5nm, 이미지 필드 215mm × 215mm의 고해상도 노출 기능을 제공합니다. 검사 장비는 In-Pixel 검출기가 있는 Quadrant Detector Array를 사용하는 Real Time Scan 시스템을 기반으로합니다. 이 장치는 노출 (Exposure) 프로세스의 모든 요소를 모니터링할 수 있으며, 자세한 Wafer 맵을 생성할 수 있습니다. 마지막으로, 웨이퍼 핸들링 머신 (wafer-handling machine) 은 자동화된 무인 작업을 제공하여 전반적인 소유 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 최대 4 개의 웨이퍼를 지원하는 스테인리스 스틸 트랙을 사용하며 최대 19 개의 사용자 정의 가능한 프로그램으로 사전 프로그래밍 할 수 있습니다. AT-1150C는 박막, 다층 필름 및 석영, 실리콘, 금속과 같은 모든 유형의 웨이퍼 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, 정확한 웨이퍼 위치를 지정하기 위해 Layer-to-wafer 정렬 도구를 갖추고 있으며, 노출 중 웨이퍼 잘못 정렬을 줄입니다. 또한 오염 방지 유지 보수 자산이 장착되어 있으며, 0.2 유로의 입자를 처리 할 수 있습니다. 전체적으로, AT 1150C는 반도체 산업의 종종 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 노출 도구입니다. 고급 옵티컬, 검사, 웨이퍼 처리 시스템은 고속, 높은 처리량, 낮은 TCO (소유 비용) 운용에 이상적인 선택입니다.